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原因 油循环受阻。 补救措施 清洁或修理油管路和油道。 故障 进气管路或真空容器中有油 原因 油从真空系统流出。 补救措施 检查真空系统。 原因 防返油阀堵塞。 补救措施 清洁或修理阀门。请参见 清洁进气口滤网和防返油阀 参考页码： 52 。 原因 防返油阀的密封表面损坏或脏污。 补救措施 清洁或维修进气口和防返油阀。请参见 清洁进气口滤网和防返油阀 参考页码： 52 。 原因 油位过高。 补救措施 排放多余的油。请参见 检查油位 参考…
原因 防返油阀出现故障。
补救措施
维修阀。请参见
清洁进气口滤网和防返油阀 参考页码： 52。
原因 排气阀出现故障。
补救措施 维修阀。联系服务中心。
原因 油不适合。
补救措施
换油（必要时进行脱气）。请参见
换油 参考页码： 50。
原因 真空管路脏污。
补救措施 清洁真空管路。
原因 泵声音太小。
补救措施 检查工艺数据，必要时更换泵。
故障 抽速太低
原因 进气口的进气滤网堵塞。
补救措施
清洁滤网。在进气管路中安装粉尘过滤器以防止堵塞。请参见
清洁进气口滤网和防返油
阀
参考页码： 52。
原因 连接管路太窄或太长。
补救措施 使用足够宽和足够短的连接管路。
故障 在真空条件下停泵后，系统中的压力上升过快
原因 系统泄漏。
补救措施 检查系统。
原因 防返油阀出现故障。
补救措施
维修阀。请参见
清洁进气口滤网和防返油阀 参考页码： 52。
故障 泵的温度太高
原因 冷却空气供应受阻。
补救措施 正确设置泵。
原因 环境温度太高。
补救措施 正确设置泵。请参见。
原因 工艺气体过热。
补救措施 更换工艺气体。
原因 油位过低。
补救措施
添加油液，达到正确油位。请参见
检查油位 参考页码： 49。
原因 油不适合。
补救措施
换油。请参见
检查油状况 参考页码： 49。
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故障分析
原因 油循环受阻。
补救措施 清洁或修理油管路和油道。
故障 进气管路或真空容器中有油
原因 油从真空系统流出。
补救措施 检查真空系统。
原因 防返油阀堵塞。
补救措施
清洁或修理阀门。请参见
清洁进气口滤网和防返油阀 参考页码： 52。
原因 防返油阀的密封表面损坏或脏污。
补救措施
清洁或维修进气口和防返油阀。请参见
清洁进气口滤网和防返油阀 参考页码： 52。
原因 油位过高。
补救措施
排放多余的油。请参见
检查油位 参考页码： 49。
故障 油混浊
原因 冷凝
补救措施
-对油进行脱气或换油，然后清洁泵。请参见
换油 参考页码： 50。
-为了防止冷凝，请打开气镇阀或插入冷凝阱。
故障 泵的噪音过大
原因 油位非常低（不再能看到油）。
补救措施
添加油。请参见
检查油位 参考页码： 49。
原因 消音喷嘴堵塞。
补救措施 清洁或更换消音喷嘴。
原因 进气压力过高。
补救措施 降低进气压力。
原因 联轴器元件磨损。
补救措施
安装新的联轴器元件。请参见
检查联轴器及其元件 参考页码： 53。
原因 旋片、轴承或其他泵部件损坏。
补救措施 维修泵。联系服务中心。
故障 外部漏油
原因 放油阀破裂或 Loctite 螺纹胶失效
补救措施 更换放油阀或重新涂抹 Loctite 螺纹胶。
原因 油视窗损坏或密封 O 型圈和垫圈损坏
补救措施 更换油视窗套件。
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故障分析
原因 油箱端盖密封垫损坏或套管破裂
补救措施 更换油箱端盖密封垫或更换油箱端盖。
原因 轴封处漏油
补救措施 更换轴封。
原因 排气口堵塞或过压阀上的 Loctite 螺纹胶失效
补救措施 清理排气管路或给阀重新涂抹 Loctite 螺纹胶。
原因 塞密封件失效或未充分拧紧
补救措施 更换塞密封件或拧紧塞。
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故障分析