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3-21 3 4 .7 피 듀 셜 「 기 판 , 블 록 」 , 「 로 컬 」 , 「 포인 트」 등 의 피 듀 셜 인 식 결과 를 표 시 합 니다 . 모니터 : 피듀셜 2 831 5 - M 3 - 0 0 • 보 정 값 X , Y, R 인식 결과 ,  기 판 데이 터  입 력값과 의  비교를  (+) ,( -) 로  표 시합 니다 . • 보 정 값 상 승 율 보정 값  X ,  Y ,…

3-20

4.6 RETRY( 재시도 )

과거 100 건의 에러 이력이 표시됩니다

모니터 : 재시도

28314 -M 3 -00

3-21

4.7 피듀셜

「기판 , 블록」, 「로컬」, 「포인트」등의 피듀셜 인식결과 를 표시합니다 .

모니터 : 피듀셜

28315-M3- 00

•

보정값 X, Y, R

인식결과 ,기판데이터입력값과의비교를(+),(-) 로표시합니다 .

•

보정값 상승율

보정값X,Y,R 을이용해서계산한기판신장율이표시됩니다 .

•

인식결과

「성공」또는「미완료」가표시됩니다 .실제로마크인식동작을해서인식이성공되면 ,「미완료」에서「성공」으로

변합니다 .

3-22

4.8 배드마크

「기판 , 블록」, 「로컬」 등의 배드마크 인식결과를 표시합니다 .

모니터 : 배드마크

28316 -M 3-0 0

•

X, Y

기판데이터입력값 ( 블록옵셋량고려 ) 을표시합니다 .

•

인식결과

실제로마크인식한결과에따라서「OK」또는「NG」판단을합니다 .

OK: 배드마크인식에실패한경우 ,작업을하는것을의미합니다 .

NG: 배드마크인식에성공한경우 ,작업을하지않는것을의미합니다 .