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2-16 2 ■ 헤 드 수 동 조 작 「장치」 ー 「헤드」화면 1 2 3 4 5 2 8 2 08 -M 3 - 0 0 버 튼 명 기 능 1 진공 각  헤드 의  진공  O N /O F F 를  실 행합 니 다 . 2 블 로 우 각  헤드 의 블로우  O N / O F F 를  실 행합 니 다 . 3 노즐 변 경 「 노즐 변 경」 대화 창 이  표 시되면 ,  헤드  및  …

100%1 / 117
2-15
2
4. [ 좌 ], [ ]
또는측으컨베이터를고속으전시킵니다 .
5. [ ], [ ]
또는측으컨베이터를저속으회전시킵니다 .
6. [ 업 ] (A - D)
테이블쉬업레이트를직입니다 .동하램프기능니다 .
7. [ 퍼 ], [ ]
또는구스퍼를직입니다 .
8. [T1 Claw 1
3], [T2 Claw 1
3]
동으T Claw 직일경우용합니다 .
[T1 Claw 1], [T2 Claw 1]
기판입구세어번째Claw 직입니다 .
[T1 Claw 하 2], [T2 Claw 하 2]
기판입구세어2 째부4 째의Claw3 연동하로직입니다 .
[T1 Claw 하 3], [T2 Claw 하 3]
기판세어번째Claw 직입니다 .
[T1 Claw 상하13], [T2 Claw 상하13] 버튼
기판
기판
T2
T1
T2
T1
■ 기판 우→좌
■ 기판 좌→우
272 01-M3- 0 0
2-16
2
「장치」「헤드」화면
1
2
3
4
5
28 2 08 -M3 -00
1 진공 헤드진공ON/OFF 행합 .
2
헤드의블로우ON/OFF 행합 .
3 노즐
노즐경」대화시되면 ,헤드
입을지정해즐체인지를행합
.
4
현재 ,헤드되어있는
시합니다 .
5 이동 이동시키위해니다 .베이어」면의동과습니다 .
2-17
2
「장치」「피더」화면
1
2
3 4
28 211-M 3 - 00
1 화 살표 시할밸브번호크롤 .
2 하 살표 시할밸브번호 ,뒤쪽전환니다 .
3 밸브 피더브를ON/OFF 킵니다 .
4 리세 모든밸브를해서OFF 니다 .