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2-3 2 1 . 3 대 표 적 인 에 러 와 대 처 방 법 여 기에 서 는 운 전중 에 표 시 되 는 대 표 적인 에 러와 그 대 처방 법을 다 음 과 같 이 나 타 냅 니 다 . ■ 헤 드 • 노 즐 관 련 코 드 에 러 명 칭 과 내 용 E a 0 0 0 9 7 노 즐 인 식 에 러 상 태 화 상 인 식한  결 과 , 부 품 전 극부 의  휘도 가  부 품 식 별  휘도 에 …

2-2

1.2 에러의 클리어 방법

에러가 발생하면 부져가 울려 경고화면이 표시됩니다 . 에러를 클리어할 때는 아래와 같은 순서로 하시기

바랍니다 .

부져를 멈춥니다 .

[ERRORCLEAR] 버튼을1 회눌러부져를OFF 로해주시기바랍니다 .

에러의 내용을 확인합니다 .

에러화면의하단에에러내용이표시되어있으므로 ,메모등의방법을이용해확인해주시기바랍니다 .

에러화면을 클리어합니다 .

한번더[ERRORCLEAR] 버튼을눌러에러화면을클리어해주시기바랍니다 .

표시를 확인합니다 .

표시등의황색램프가꺼지고 ,조작화면의스테이터스에리어의왼쪽위에러표시가꺼진것을확인하시

기바랍니다 .

2-3

1.3 대표적인 에러와 대처방법

여기에서는 운전중에 표시되는 대표적인 에러와 그 대처방법을 다 음과 같이 나타냅니다 .

■ 헤드

•

노즐관련

코드 에러 명칭과 내용

Ea00097

노즐인식 에러

상태

화상인식한결과 ,부품전극부의휘도가부품식별휘도에도달하지못합니다 .노즐을부품으로잘못인식하고있

을가능성이있습니다 .해당헤드의노즐을체크해주십시오 .

원인 부품전극부의휘도가부품식별휘도에도달하지못합니다 .노즐을부품으로오인식하고있을가능성이있습니다 .

대책 해당헤드의노즐을체크하고청소해주십시오 .부품데이터의부품식별휘도를조정해주십시오 .

Ea00200

노즐교환 에러

상태

노즐빼기에실패했습니다 .노즐스테이션의센서를확인하고 ,노즐스테이션정보의헤드높이 ,각도 ,위치등의

재조정을하 여주십시오 .

원인 노즐스테이션의센서불량 ,또는노즐스테이션정보의높이 ,각도 ,X Y 좌표의조정불량으로생각됩니다 .

대책 센서의조정 .노즐스테이션정보의노즐위치각도높이를재조정해주십시오 .

Ea00201

노즐 오인식 에러

상태

노즐격납에실패했습니다 .노즐스테이션의센서를확인하고 ,노즐스테이션정보의헤드높이 ,각도 ,위치등의재

조정을하여주십시오 .

원인

노즐스테이션의센서의불량 ,동작불량또는노즐스테이션정보의헤드높이 ,각도 ,XY 좌표등의조정불량으로

노즐을격납할수없습니다 .

대책 노즐스테이션센서의동작을확인하고 ,노즐스테이션정보의높이 ,각도 ,X Y 좌표등을재조정해주십시오 .

Ea00203

노즐스테이션 상태 에러

상태

다음헤드가적용된노즐스테이션에서여러개의노즐이없습니다 .노즐스테이션센서를확인하고 ,노즐을스테

이션에넣어주십시오 .

원인 노즐스테이션센서의동작불량또는복수의노즐이노즐스테이션에서탈착되어있습니다 .

대책 정확한노즐을스테이션에격납해주십시오 .또는노즐스테이션센서의동작을확인해주십시오 .

Ea00204

노즐스테이션 상태 에러

상태 다음단계에서사용예정인노즐이노즐스테이션에없습니다 .노즐스테이션정보를 ,확인해주십시오 .

원인 사용예정인노즐이노즐스테이션정보에설정되어있지않습니다 .

대책 노즐스테이션정보의설정을확인해주십시오 .

Ea00205

노즐스테이션 상태 에러

상태

다음단계에서사용예정인노즐이여러개있습니다 .노즐스테이션센서와노즐스테이션정보를확인하여주십시

오 .

원인 노즐스테이션정보에2 개의같은노즐이설정되어있습니다 .

대책 노즐스테이션정보를확인해주십시오 .

Ea00850

인터락 에러

상태 하강단센서가OFF 된헤드가있습니다 .원인을제거해주십시오 .

원인 헤드의동작불량으로헤드가상승되지않거나또는센서에러 .

대책 헤드의상하동작을확인해주십시오 .

Ea00864

인터락 에러

상태

헤드의높이가위험한위치에있어서X,Y,R,W 축을이동할수없습니다 .Z 축이이동중이거나Z 축안전센서가

OFF 로되어있습니다 .

헤드를안전한높이까지이동시켜주십시오 .

원인 헤드가내려와있거나또는센서가고장입니다 .

대책 수동으로Z 축을올려주십시오 .

2-4

코드 에러 명칭과 내용

Ea00865

인터락 에러

상태 노즐스테이션이하강단에없어서 ,X,Y 축의이동이불가능합니다 .

원인 노즐스테이이션이상승되어있습니다 .노즐스테이션의하강단센서가반응하지않습니다 .

대책

수동모드로노즐스테이션을하강시킵니다 .노즐스테이션을내린상태에서I/O 모니터를확인해서 ,센서가반응하

지않으면센서를교환해주십시오 .

Ea008 71

<<< 경고 센서 이상 >>>

헤드의 상하동작이 이상합니다 . 아래의 원인일 수 있습니다 .

상태

-기판의고정이상

-흡착높이 ,장착높이이상

-하강단센서이상

-헤드하강밸브동작이상

-샤프트가변형됨

-하강개시후1 초이내에하강단에도달하지못함

원인

1기판면의위치가너무높아서 ,센서에반응하는위치까지실린더가내려오지않습니다 .

2장착높이 ,흡착높이의값이너무커서 ,센서에반응하는위치까지실린더가내려오지않습니다 .

3하강단센서의위치가나빠서센서의반응이안정되지않습니다 .

4헤드하강밸브내의피스톤의동작이둔합니다 .

5노즐샤프트가변형되어있어 ,헤드가상하동작하지않습니다 .

대책 상기의원인을찾아서해당원인을제거해주십시오 .

Ea00880

I/O 시퀀스 부품장착시 진공압체크 에러

상태

부품장착시에부압이충분하게내려가지않습니다 .부품을픽업한상태로돌아갔을가능성이있으므로 ,즉시노

즐과밸브등을확인하여주십시오 .이런상태로자동운전을계속하면 ,부품을흡착한상태로복귀하거나2 중탑

재등의트러블을일으킬가능성이있습니다 .

원인 부품장착시에부압이충분히내려가지않았습니다 .부품을흡착한상태로복귀했을가능성이있습니다 .

대책 ［장치］→「헤드」탭을열어서 ,즉시노즐이나밸브등을확인해주십시오 .

Ea0265 2

인터락 에러

상태

헤드의높이가위험한위치에있어서X,Y,R,W 축을이동할수없습니다 .헤드를안전한높이까지이동시켜주

십시오 .

원인 헤드의높이가위험한위치에있어서X,Y,R,W 축을이동할수없습니다 .

대책

헤드를안전한높이까지이동시켜주십시오 .하 강단센서를겸비한장비는헤드하 강단센서의상태를확인해주

십시오 .

Ea02653

인터락 에러

상태 헤드의높이가위험한위치에있습니다 .헤드를안전한높이까지이동시켜주십시오 .

원인 원점복귀직후의헤드높이가위험한위치에있습니다 .

대책 헤드의Z 축현재위치가위험한높이에있지않은지확인해주십시오 .

Ea02906

노즐체인지상태 에러

상태

현재장착되어있는ANC 노즐을결정할수없습니다 .아래의항목을확인하여주십시오 .

1노즐스테이션의센서상태

원인 현재장착되어있는ANC 노즐을결정할수없습니다 .

대책 노즐스테이션의센서상태를확인해주십시오 .