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2-5 2 ■ 컨 베 이 어 관 련 코 드 에 러 명 칭 과 내 용 E a 0 0 07 0 기 판 반 송 에 러 상 태 컨베이 어  위 에  규 정 수 량  이상 의  기판 이  반 입 되 었습 니다 . 원인 기판 요구  신호를  보 내지  않 았 음 에 도  불 구 하고 ,  상류 측 에서  기 판 이 반 입되 었습 니다 .  또는 이 상 한  기 판 을 검 출…

2-4

코드 에러 명칭과 내용

Ea00865

인터락 에러

상태 노즐스테이션이하강단에없어서 ,X,Y 축의이동이불가능합니다 .

원인 노즐스테이이션이상승되어있습니다 .노즐스테이션의하강단센서가반응하지않습니다 .

대책

수동모드로노즐스테이션을하강시킵니다 .노즐스테이션을내린상태에서I/O 모니터를확인해서 ,센서가반응하

지않으면센서를교환해주십시오 .

Ea008 71

<<< 경고 센서 이상 >>>

헤드의 상하동작이 이상합니다 . 아래의 원인일 수 있습니다 .

상태

-기판의고정이상

-흡착높이 ,장착높이이상

-하강단센서이상

-헤드하강밸브동작이상

-샤프트가변형됨

-하강개시후1 초이내에하강단에도달하지못함

원인

1기판면의위치가너무높아서 ,센서에반응하는위치까지실린더가내려오지않습니다 .

2장착높이 ,흡착높이의값이너무커서 ,센서에반응하는위치까지실린더가내려오지않습니다 .

3하강단센서의위치가나빠서센서의반응이안정되지않습니다 .

4헤드하강밸브내의피스톤의동작이둔합니다 .

5노즐샤프트가변형되어있어 ,헤드가상하동작하지않습니다 .

대책 상기의원인을찾아서해당원인을제거해주십시오 .

Ea00880

I/O 시퀀스 부품장착시 진공압체크 에러

상태

부품장착시에부압이충분하게내려가지않습니다 .부품을픽업한상태로돌아갔을가능성이있으므로 ,즉시노

즐과밸브등을확인하여주십시오 .이런상태로자동운전을계속하면 ,부품을흡착한상태로복귀하거나2 중탑

재등의트러블을일으킬가능성이있습니다 .

원인 부품장착시에부압이충분히내려가지않았습니다 .부품을흡착한상태로복귀했을가능성이있습니다 .

대책 ［장치］→「헤드」탭을열어서 ,즉시노즐이나밸브등을확인해주십시오 .

Ea0265 2

인터락 에러

상태

헤드의높이가위험한위치에있어서X,Y,R,W 축을이동할수없습니다 .헤드를안전한높이까지이동시켜주

십시오 .

원인 헤드의높이가위험한위치에있어서X,Y,R,W 축을이동할수없습니다 .

대책

헤드를안전한높이까지이동시켜주십시오 .하 강단센서를겸비한장비는헤드하 강단센서의상태를확인해주

십시오 .

Ea02653

인터락 에러

상태 헤드의높이가위험한위치에있습니다 .헤드를안전한높이까지이동시켜주십시오 .

원인 원점복귀직후의헤드높이가위험한위치에있습니다 .

대책 헤드의Z 축현재위치가위험한높이에있지않은지확인해주십시오 .

Ea02906

노즐체인지상태 에러

상태

현재장착되어있는ANC 노즐을결정할수없습니다 .아래의항목을확인하여주십시오 .

1노즐스테이션의센서상태

원인 현재장착되어있는ANC 노즐을결정할수없습니다 .

대책 노즐스테이션의센서상태를확인해주십시오 .

2-5

■ 컨베이어 관련

코드 에러 명칭과 내용

Ea00070

기판반송 에러

상태 컨베이어위에규정수량이상의기판이반입되었습니다 .

원인

기판요구신호를보내지않았음에도불구하고 ,상류측에서기판이반입되었습니다 .또는이상한기판을검출했습

니다 .

대책

상류측의반출출구센서또는본장비의반입센서위치조정및기판검출센서입구스톱퍼센서를재조정해주십

시오 .

Ea00074

기판고정 에러

상태 기판반송유니트 ,로케이트핀 ,푸쉬업이정상적으로작동되지않습니다 .

원인 센서의위치조정불량 ,또는스피드컨트롤러를너무조여서동작이불안정합니다 .

대책 기판반송유니트의높이관계센서의동작을확인해주십시오 .

Ea00831

메인스톱퍼 상승 인터락

상태 메인스톱퍼가올라가있어서위험합니다 .메인스톱퍼를내려주십시오 .

원인 메인스톱퍼가올라가있어서위험합니다 .

대책 메인스톱퍼를하강시켜주십시오 .

Ea00851

인터락 에러

상태 기판반송기의하강단센서가OFF 입니다 .원인을제거하여주십시오 .

원인 기판반송기가하강상태입니다 .또는센서에러입니다 .

대책 기판반송기의상하동작을확인해주십시오 .

Ea00852

인터락 에러

상태 메인스톱퍼 ,푸쉬업 ,입구스톱퍼중어느센서가ON 되어있습니다 .원인을제거하 여주십시오 .

원인 센서불량 ,또는액츄에이터동작불량 .

대책 메인스톱퍼 ,푸쉬업 ,입구스톱퍼등의동작을확인해주십시오 .

Ea07876

명령실행 불능

상태

서보푸쉬업이충분히내려가지않아서 ,이명령을실행할수없습니다 .컨베이어유니트조작과리세트로 ,서보푸

쉬업을하강시키고나서 ,다시명령을실행하여주십시오 .

원인 서보푸쉬업이충분히내려가지않아서 ,이명령을실행할수없습니다 .

대책 컨베이어유니트조작과리세트로 ,서보푸쉬업을하강시키고나서 ,다시명령을실행하여주십시오

2-6

■ 데이터 관련

코드 에러 명칭과 내용

Ea00036

흡착경계값 에러

상태 흡착압력이기준치미달입니다 .인식후 ,부품이떨어졌을가능성이있습니다 .

원인

흡착진공압의설정불량 ,또는부품이정확하게흡착되어있지않습니다 .부품의흡착위치좌표및흡착정도가나

쁩니다 .

대책 부품의흡착상태를안정시켜 ,보조조정에서흡착진공압의재조정을해주십시오 .

Ea00267

피듀셜 FINE 수속 에러

상태

Fine 타입인식에있어서 ,보정위치가Fine 수속위치이내로집결되지않았습니다 .Fine 수속위치는 ,장비데이

터에정의되어있습니다 .

원인 수속조건이너무엄밀합니다 .

대책 장비데이터에서수속조건을완화시키거나 ,일반피듀셜데이터를사용해주십시오 .

Ea00502

데이터 읽기 에러

상태 데이터읽기에실패했습니다 .

원인 파일에이상이있을가능성이있습니다 .

대책 해당데이터는읽어들일수없습니다 .백업해둔경우에는백업에서재복사해주십시오 .

Ea00503

기판데이터 에러

상태 기판데이터쓰기에실패했습니다 .

원인 디스크에이상이있거나 ,하드디스크의용량이꽉찼습니다 .

대책

우선 ,디스크의상태를확인 .파일수량등을확인하고 ,이상이있으면파일수량을줄이는등의대처를한다음 ,

재실행해주십시오 .

Ea02702

노즐스테이션 MACS 에러

상태

노즐스테이션MACS 의동작중에실패했습니다 .노즐스테이션MACS 에관한장비설정과 ,참조하고있는마크

데이터베이스가다르지않습니까 ?

원인 노즐체인지를실행하려고했을때 ,노즐스테이션MACS 의인식을실행했으나 ,마크의인식에실패했습니다 .

대책 스테이션MACS 의위치를정확하게설정해주십시오 .마크데이터베이스의번호를정확하게설정해주십시오 .