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NPM-W 2 EJM7DC-MB-02O-0 0 支撑销 ( 自动更换用 ) 的安装 1 1 ENABLING 卸下基板 2 ENABLING 3 单轨传送带时 1 OFF SERVO 5 4 7 6 把料架工作台盖往内 推 2-5-8 -1 确认提示 卸下交换台车 ( → 『维修保养篇』 P.3-2) 前侧 ( 基板支撑块上升 ) 单轨传送带以及双轨传送带的托盘规 格时，在对象的基台前侧设置所 有支撑销。 个别 准备 操作篇 2-5…
NPM-W2 EJM7DC-MB-02O-00
2-5-7-2
1
1
1
排出确认时的确认作业
1
+
■现在温度比动作时温度差警告判定值(判定参数)大时
(只限温度警告确认的选项被设定为ON 时)
1
■没有设置擦拭站的时候
1
+
■当在擦拭站上没有设置缓冲材时
●确认擦拭站的设置状态。
●选择 时，只会排出材料。
NPM-W2 EJM7DC-MB-02O-00
支撑销(自动更换用)的安装 1
1
ENABLING
卸下基板
2
ENABLING
3
单轨传送带时1
OFF
SERVO
5
4
7
6
把料架工作台盖往内
推
2-5-8-1
确认提示
卸下交换台车
(→『维修保养篇』
P.3-2)
前侧
(基板支撑块上升)
单轨传送带以及双轨传送带的托盘规格时，在对象的基台前侧设置所有支撑销。
个别
准备
操作篇
2-5-8
用棉纱布盖在多功
能识别照相机上
NPM-W2 EJM7DC-MB-02O-00
顺序
9
8
在基板支撑块(自动更换用)设置支撑销(自动更换用)
●设置支撑销时，必须设置在基准位置。
(可能与传送带有干扰)
●把支撑销压住基准位置的螺栓进行设置。
(在进行配置动作时，有可能会发生与所吸附支撑销相干涉的危险。)
●根据基板流向不同，变更支撑销的配置。
(为了使支撑销的更换时间最短)
・基板流向左→右时：从右端按顺序设置
・基板流向右→左时：从左端按顺序设置
●只设置固定轨道侧。
■左右流向
前基准的配置
前侧
内基准的配置
前侧
4321
･･･
4321
･･･
■右左流向
手前基準の配置
前侧
奥基準の配置
前侧
4321
･･･
1234
･･･
后侧 后侧
后侧 后侧
固定轨道
固定轨道
固定轨道
固定轨道
基板流向基板流向
基板流向
基板流向
基准位置
基准位置
基准位置
基准位置
2-5-8-2