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NPM-W 2 EJM7DC-MB-02O-00 顺序 9 8 在基板支撑块 ( 自动更换用 ) 设置支撑销 ( 自动更换用 ) ●设置支撑销时，必须设置在基准位 置。 ( 可能与传送带有干扰 ) ●把支撑销压住基准位置的螺栓进行 设置。 (在进行配置动作时，有可能会发生与所 吸附支撑销相干涉的危险。) ●根据基板流向不同，变更支撑销的 配置。 ( 为了使支撑销的更换时间最短 ) ・ 基板流向左 → 右时：从 右端 按顺序设置 ・ 基板…
NPM-W2 EJM7DC-MB-02O-00
支撑销(自动更换用)的安装 1
1
ENABLING
卸下基板
2
ENABLING
3
单轨传送带时1
OFF
SERVO
5
4
7
6
把料架工作台盖往内
推
2-5-8-1
确认提示
卸下交换台车
(→『维修保养篇』
P.3-2)
前侧
(基板支撑块上升)
单轨传送带以及双轨传送带的托盘规格时，在对象的基台前侧设置所有支撑销。
个别
准备
操作篇
2-5-8
用棉纱布盖在多功
能识别照相机上
NPM-W2 EJM7DC-MB-02O-00
顺序
9
8
在基板支撑块(自动更换用)设置支撑销(自动更换用)
●设置支撑销时，必须设置在基准位置。
(可能与传送带有干扰)
●把支撑销压住基准位置的螺栓进行设置。
(在进行配置动作时，有可能会发生与所吸附支撑销相干涉的危险。)
●根据基板流向不同，变更支撑销的配置。
(为了使支撑销的更换时间最短)
・基板流向左→右时：从右端按顺序设置
・基板流向右→左时：从左端按顺序设置
●只设置固定轨道侧。
■左右流向
前基准的配置
前侧
内基准的配置
前侧
4321
･･･
4321
･･･
■右左流向
手前基準の配置
前侧
奥基準の配置
前侧
4321
･･･
1234
･･･
后侧 后侧
后侧 后侧
固定轨道
固定轨道
固定轨道
固定轨道
基板流向基板流向
基板流向
基板流向
基准位置
基准位置
基准位置
基准位置
2-5-8-2
NPM-W2 EJM7DC-MB-02O-00
支撑销(自动更换用)的安装 2
单轨传送带时2
11
10
9
把料架工作台盖拉
回原处
14
ENABLING
13
15
ENABLING
●基板支撑块下降。
12
2-5-8-3
安装交换台车
(→P.3-2)
前侧
取下棉纱布
确认提示
个别
准备
操作篇
2-5-8
SERVO
ON