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NPM-W 2 EJM7DC-MB-09O-00 规格 基板的传送方向 单轨传送带 ●基板的传送方向的变更通过选项设 定。 基板传送方向 可动轨道 基准轨道 前侧 左到右的流向、前基准 可动轨道 基准轨道 前侧 右到左的流向、前基准 基板传送方向 基板传送方向 可动轨道 基准轨道 前侧 左到右的流向、后基准 前侧 基板传送方向 右到左的流向、后基准 可动轨道 基准轨道 ■标准 ■选项 1 2 1 2 9-1-2 -1 操作篇 9-1-2