N7201A616C00_0316.pdf - 第675页
NPM-W 2 EJM7DC-MB-09O-0 0 单式托盘规格 ( 单位 :mm) ■连接单式托盘供料器时 外形尺寸 工作区域 交换台车 13 站料架座 单式托盘供料器 1 280( 传送带宽度 ) 1 265( 安全盖外形 ) 工作区域 9-1-3 -2 盖后端面 盖后端面 前侧 2 570 1 616 954 1 095.5 820.5 1 511.5 前侧 2 570 1 055.5 571 943.5 810 571 951 …
NPM-W2 EJM7DC-MB-09O-00
规格
外形尺寸和工作区域 1
料架规格
■连接交换台车时
外形尺寸
工作区域
(单位:mm)
通知
●插图的比例尺寸从严格角度来看，与实际设备可能
不一致。
在决定生产构成、尺寸等时，请另外申请资料。
●设备的下面如果要放置导管，需要与设备之间空开
40 mm以上的距离。
1 280(传送带宽度)
1 265(安全盖外形)
电源
空气
9-1-3-1
盖后端面
操作篇
9-1-3
前侧
前侧
盖后端面
76
76
220
1 095.5
820.5 1 511.5
900
1 514
1 444
1 629
2 465
943.5571943.5
810
571 951
前侧
1 830
1 830
1 080
1 080
工作区域
交换台车 交换台车
交换台车交换台车
基板搬送基准
基板搬送高度
双传送带规格单传送带规格
基板搬送基准
(后轨道)
基板搬送基准
(前轨道)
NPM-W2 EJM7DC-MB-09O-00
单式托盘规格
(单位:mm)
■连接单式托盘供料器时
外形尺寸
工作区域
交换台车
13站料架座
单式托盘供料器
1 280(传送带宽度)
1 265(安全盖外形)
工作区域
9-1-3-2
盖后端面
盖后端面
前侧
2 570
1 616954
1 095.5
820.5 1 511.5
前侧
2 570
1 055.5571943.5
810
571 951
1 830
1 080
2 000
855
前侧
单传送带规格
基板搬送基准
双传送带规格
基板搬送基准
(后轨道)
基板搬送基准
(前轨道)
基板搬送高度
NPM-W2 EJM7DC-MB-09O-00
规格
外形尺寸和工作区域 2
■连接双式托盘供料器时
双式托盘规格
工作区域
(单位:mm)
外形尺寸
工作区域
双式托盘供料器
交换台车
1 280(传送带宽度)
1 265(安全盖外形)
9-1-3-3
盖后端面
操作篇
9-1-3
前侧
2 570
1 616954
1 095.5
820.5 1 511.5
2 570
1 055.5
571943.5
810
571 951
1 830
1 080
2 000
1190
前侧
盖后端面
前侧
双传送带规格单传送带规格
基板搬送基准
基板搬送基准
(后轨道)
基板搬送基准
(前轨道)
基板搬送高度