N7201A616C00_0316.pdf - 第184页
NPM-W 2 EJM7DC-MB-02O-0 0 支撑销 ( 自动更换用 ) 的安装 2 单轨传送带时 2 11 10 9 把料架工作台盖拉 回原处 14 ENABLING 13 15 ENABLING ●基板支撑块下降。 12 2-5-8 -3 安装交换台车 ( → P.3-2) 前侧 取下棉纱布 确认提示 个别 准备 操作篇 2-5-8 SERVO ON
NPM-W2 EJM7DC-MB-02O-00
顺序
9
8
在基板支撑块(自动更换用)设置支撑销(自动更换用)
●设置支撑销时，必须设置在基准位置。
(可能与传送带有干扰)
●把支撑销压住基准位置的螺栓进行设置。
(在进行配置动作时，有可能会发生与所吸附支撑销相干涉的危险。)
●根据基板流向不同，变更支撑销的配置。
(为了使支撑销的更换时间最短)
・基板流向左→右时：从右端按顺序设置
・基板流向右→左时：从左端按顺序设置
●只设置固定轨道侧。
■左右流向
前基准的配置
前侧
内基准的配置
前侧
4321
･･･
4321
･･･
■右左流向
手前基準の配置
前侧
奥基準の配置
前侧
4321
･･･
1234
･･･
后侧 后侧
后侧 后侧
固定轨道
固定轨道
固定轨道
固定轨道
基板流向基板流向
基板流向
基板流向
基准位置
基准位置
基准位置
基准位置
2-5-8-2
NPM-W2 EJM7DC-MB-02O-00
支撑销(自动更换用)的安装 2
单轨传送带时2
11
10
9
把料架工作台盖拉
回原处
14
ENABLING
13
15
ENABLING
●基板支撑块下降。
12
2-5-8-3
安装交换台车
(→P.3-2)
前侧
取下棉纱布
确认提示
个别
准备
操作篇
2-5-8
SERVO
ON
NPM-W2 EJM7DC-MB-02O-00
相同顺序的 ～
双轨传送带时1
进行与单轨传送带时
1 7
1
。
顺序
2
2-5-8-4