N7201A616C00_0316.pdf - 第185页
NPM-W 2 EJM7DC-MB-02O-00 相同顺序的 ～ 双轨传送带时 1 进行与单轨传送带时 1 7 1 。 顺序 2 2-5-8 -4
NPM-W2 EJM7DC-MB-02O-00
支撑销(自动更换用)的安装 2
单轨传送带时2
11
10
9
把料架工作台盖拉
回原处
14
ENABLING
13
15
ENABLING
●基板支撑块下降。
12
2-5-8-3
安装交换台车
(→P.3-2)
前侧
取下棉纱布
确认提示
个别
准备
操作篇
2-5-8
SERVO
ON
NPM-W2 EJM7DC-MB-02O-00
相同顺序的 ～
双轨传送带时1
进行与单轨传送带时
1 7
1
。
顺序
2
2-5-8-4
NPM-W2 EJM7DC-MB-02O-00
支撑销(自动更换用)的安装3
双轨传送带时2
2
单轨模式的配置
前侧
双轨模式的配置
前侧
4321
･･･
4321
･･･
4321
･･･
●设置支撑销时，必须设置在基准位置。
(可能与传送带有干扰)
●把支撑销压住基准位置的螺栓进行设置。
(在进行配置动作时，有可能会发生与所吸附支撑销相干涉的危险。)
●根据基板流向不同，变更支撑销的配置。
(为了使支撑销的更换时间最短)
・基板流向左→右时：从右端按顺序设置
・基板流向右→左时：从左端按顺序设置
●只设置固定轨道侧。
■左右流向
■右左流向
基准位置
基准位置
4321
･･･
1234
･･･
1234
･･･
前侧 前侧
基准位置
基准位置
单轨模式的配置
双轨模式的配置
在基板支撑块(自动更换用)设置支撑销(自动更换用)
2-5-8-5
后侧 后侧
后侧
后侧
基板流向
基板流向
基板流向
基板流向
个别
准备
操作篇
2-5-8