SM451Machine Calibration_PDF00.pdf - 第35页
11-35 Machine Calibration 备注 Fix Camera 的校正基准值如下。 FOV 45 MEGA ScaleX: 42.2~44.2 ( μ m/pixel) ScaleY : 42.2~44.2 ( μ m/pixel) R: -1.0 ° ~ 1.0 ° FOV 35 MEGA ScaleX: 32.6~34.6 ( μ m/pixel) ScaleY : 32.6~34.6 ( μ m/pixel…
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9. 显示“下一步，把调整吸嘴从头1上卸掉。 点击[下一步 ]下移头. \n移动后，用手
把调整吸嘴从头上卸下来。”消 息 。 为了在磁头1号的吸嘴支架手动除去 CNT20
Nozzle。 请点击<下一步>按钮。
10. 固定摄像机的校正步骤完毕后，如下图显示结果值。
结果值在‘系统设置’菜单的“照像机”对话框中可以确认。
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Machine Calibration
备注 Fix Camera 的校正基准值如下。
FOV 45 MEGA
ScaleX: 42.2~44.2 (μm/pixel)
ScaleY: 42.2~44.2 (μm/pixel)
R: -1.0 ° ~ 1.0 °
FOV 35 MEGA
ScaleX: 32.6~34.6 (μm/pixel)
ScaleY: 32.6~34.6 (μm/pixel)
R: -1.0 ° ~ 1.0 °
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11.3.7.2. Up Camera Thermal Origin Calibration
针对丝杆摩擦热引起XY坐标系热变形后出现的Fix Camera位移，利用ANC上的一
个基准标记点进行补偿。
在Calibration Item 单击<Up Camera Thermal>键就会出现下列对话窗口，在该对话
窗口单击<移动>键，使基准摄像机移动到ANC上的基准标记位置，准确地示教该
基准标记的中心。
图
11.10
“热量向导”对话框
1: Grid
领域
Gantry选择用箭头键
1F: 显示当前选定的Gantry。
单击箭头键后选择需要检查设定值的Gantry。单Gantry设备时处于非激活状态。
<移动 > 按钮
把当前选定的基准摄像机移到ANC 2号的1号基准标记位置。
<得到数据> 按钮
在选定基准摄像机的位置适用当前位置的坐标值。使基准摄像机的十字线中心
与基准标记的中心准确地维持一致后，单击该键后的登记坐标。
<能打开构台图> 复选框