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NPM-W 2 EJM7DJ-MB-02M-00 概要 基板コンベヤー ユニット別定期点検箇所 2 ＜タイプ共通＞ 2-1-6 -3 前側・後側 メンテナンス 編 2-1-6 基板検出センサー 幅寄せボールねじ 基板搬送ベルト ■シングルコンベヤー ※ 基板検出センサー各レーンに、 透過タイプ :4 個・反射タイプ :2 個あります。 延長コンベヤー 基板検出 センサー 基板搬送ベルト 前側 ■デュアルコンベヤー 基板搬送ベルト 基板搬…
NPM-W2 EJM7DJ-MB-02M-00
2-1-6-2
タッチパネル
XYユニット
真空ポンプ
後側
前側・後側
前側・後側
真空ポンプ
Y軸ケーブルベア
Y軸リニアガイド
X軸リニアガイド
X軸ケーブルベア
タッチパネル
NPM-W2 EJM7DJ-MB-02M-00
概要
基板コンベヤー
ユニット別定期点検箇所 2
＜タイプ共通＞
2-1-6-3
前側・後側
メンテナンス
編
2-1-6
基板検出センサー
幅寄せボールねじ基板搬送ベルト
■シングルコンベヤー
※基板検出センサー各レーンに、
透過タイプ:4個・反射タイプ:2個あります。
延長コンベヤー
基板検出
センサー
基板搬送ベルト
前側
■デュアルコンベヤー
基板搬送ベルト
基板搬送ベルト
基板下受けブロック
■シングルコンベヤー
■デュアルコンベヤー
基板検出
センサー
基板搬送ベルト
リニアガイド
リニアガイド
幅寄せボールねじ
リニアガイド
基板検出
センサー
幅寄せボールねじ
基板検出センサー
基板検出センサー
基板検出センサー
基板搬送ベルト
NPM-W2 EJM7DJ-MB-02M-00
2-1-6-4
前側・後側
交換台車
空テープボックス
マルチ認識カメラ
カッティングユニット
フィーダーテーブル
前側・後側
カバーガラス
コネクター