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基板に接着剤を高速かつ高精度に塗
布する。
被検査基板の状態を撮影し、撮影
した画像を検査BOXに出力する。
●画素分解能18 μm(タイプA)
と9 μm(タイプB)の2タイプ
があります。
捨て打ち動作の際に捨て打ちテープの巻取りを行う。
2D検査ヘッドを校正するときに
用いる光学的基準のプレート。
塗布ヘッド(オプション)
2D検査ヘッド(オプション)
捨て打ちユニット(オプション)
2D検査用校正ジグ(オプション)

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2 概要