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NPM-W 2 EJM7DJ-MB-14M-00 14-7 -2 各設定での基板搬送状況 基板流れ 基板搬出 NPM-W2 以外の 前工程設備 NPM-W2 基板流れ 基板搬出 NPM-W2 以外の 前工程設備 ■通常設定 ( デフォルト ): 「前工程他社連結」を「 OFF 」、「前工程他社連結 2 」を「 OFF 」 基板流れ ♞ 基板搬出 NPM-W2 以外の 前工程設備 NPM-W2 ■オプション設定 : 「前工程他社連結」を「…

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NPM-W2 EJM7DJ-MB-14M-00
14-7-1
基板搬送設定
(NPM-W2以外の設備と連結するとき)
NPM-W2以外の設備とライン連結するときは、前工程設備の基板要求信号の受け渡しタイミングによって
は、基板の2枚搬送などの不具合が発生する可能性があります。このため、必ずNPM-W2の基板搬送の設定
を変更してください。
●「左 → 右流れ」で基板搬送設定の方法を説明します。「右 → 左流れ」のときは、右側に延長コンベ
ヤーが設置されたNPM-W2で設定してください。
■オプション設定
「前工程他社連結」を「ON」にするとき
1
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■オプション設定
「前工程他社連結2 」を「ON」にするとき
2
2
メンテナンス
編
14-7
NPM-W2 EJM7DJ-MB-14M-00
14-7-2
各設定での基板搬送状況
基板流れ
基板搬出
NPM-W2以外の
前工程設備
NPM-W2
基板流れ
基板搬出
NPM-W2以外の
前工程設備
■通常設定(デフォルト): 「前工程他社連結」を「OFF」、「前工程他社連結2」を「OFF」
基板流れ
♞基板搬出
NPM-W2以外の
前工程設備
NPM-W2
■オプション設定 : 「前工程他社連結」を「ON」
■オプション設定 : 「前工程他社連結2」を「ON」
基板検出センサー
装着位置「ON」
基板要求信号「OFF」
基板搬出後、NPM-W2の基板要求信号が「ON」
になる。
前工程設備から、基板が搬出される。
NPM-W2の基板検出センサー(装着位置) が
「ON」になる。
NPM-W2の基板要求信号が「OFF」になる。
基板要求信号「ON」
*通常は基板要求信号の「OFF」→「ON」で基板
を搬出するため、デフォルト設定のままで、基
板の2枚搬送などの不具合は発生しません。
ただし、前工程の設備が当社設備の仕様に対応
していないときは、基板要求信号「ON」で基板
搬出をし続けることがあるため、NPM-W2の基
板搬送の設定を変更する必要があります。
基板要求信号「ON」
基板要求信号「OFF」
基板搬出後、NPM-W2の基板要求信号が「ON」
になる。
前工程設備から、基板が搬出される。
延長コンベヤーの基板検出センサー (前工程側) が
「ON」になる。
NPM-W2の基板要求信号が「OFF」になる。
基板要求信号「OFF」
基板搬出後、NPM-W2の基板要求信号が「ON」
になる。
前工程設備から、基板が搬出される。
延長コンベヤーの基板検出センサー (前工程側) が
「ON」→「OFF」になる。
NPM-W2の基板要求信号が「OFF」になる。
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基板要求信号「ON」
基板検出センサー
前工程側「ON」 →「OFF」
(延長コンベヤー)
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基板検出センサー
前工程側「ON」
(延長コンベヤー)
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●「前工程他社連結」と「前工程他社連結2」は同時に「ON」にはできません。
NPM-W2
NPM-W2 EJM7DJ-MB-14M-00
14-8-1
トレイフィーダー(オプション)
の取り扱い方法 １
取り付け方法
3
2
7
電源ケーブル、通信ケーブル、エア配管を接
続する
トレイフィー
ダーを取り付け
る
エア配管
通信ケーブル
電源ケーブル
工具：スパナ(30 mm) 2本、六角レンチ(3 mm)
●本体に当てないように注意
して作業を行ってください。
6
カバーを外す
●ねじ：3本
8
カバーを取り
付ける
●ねじ：3本
シングルトレイフィーダーとツイントレイフィーダーの取り扱い方法を説明します。前側･後側で画面操
作ができます。後側で取り外し/取り付けをします。
メンテナンス
編
14-8
9
4
1
主電源スイッチを
OFFにし、鍵をかけ
る
OFF
10
ON
鍵を外して
後側
後側
後側