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NPM-W 2 EJM7DJ-MB-02M-00 2-1-6 -2 タッチパネル XY ユニット 真空ポンプ 後側 前側・後側 前側・後側 真空ポンプ Y 軸ケーブルベア Y 軸リニアガイド X 軸リニアガイド X 軸ケーブルベア タッチパネル
NPM-W2 EJM7DJ-MB-02M-00
概要
ユニット別定期点検箇所 1
＜タイプ共通＞
各種圧力計
部品排出ボックス
2-1-6-1
前側
後側
前側・後側
メンテナンス
編
2-1-6
真空破壊圧
真空ポンプ供給圧
オプションエア圧
清掃ブロー圧
メインエア圧
部品排出ボックス
NPM-W2 EJM7DJ-MB-02M-00
2-1-6-2
タッチパネル
XYユニット
真空ポンプ
後側
前側・後側
前側・後側
真空ポンプ
Y軸ケーブルベア
Y軸リニアガイド
X軸リニアガイド
X軸ケーブルベア
タッチパネル
NPM-W2 EJM7DJ-MB-02M-00
概要
基板コンベヤー
ユニット別定期点検箇所 2
＜タイプ共通＞
2-1-6-3
前側・後側
メンテナンス
編
2-1-6
基板検出センサー
幅寄せボールねじ基板搬送ベルト
■シングルコンベヤー
※基板検出センサー各レーンに、
透過タイプ:4個・反射タイプ:2個あります。
延長コンベヤー
基板検出
センサー
基板搬送ベルト
前側
■デュアルコンベヤー
基板搬送ベルト
基板搬送ベルト
基板下受けブロック
■シングルコンベヤー
■デュアルコンベヤー
基板検出
センサー
基板搬送ベルト
リニアガイド
リニアガイド
幅寄せボールねじ
リニアガイド
基板検出
センサー
幅寄せボールねじ
基板検出センサー
基板検出センサー
基板検出センサー
基板搬送ベルト