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NPM-W 2 EJM7DJ-MB-04M-00 始業前 圧力計の点検 1 4-1-1 -1 メンテナンス 編 4-1-1 エア圧を確認する 供給圧の点検について説明します。 前側 後側 真空破壊圧 (8~12 kPa) 真空ポンプ供給圧 (-100 ~ -87 kPa) 清掃ブロー圧 (0.13 ~ 0.14 MPa) メインエア圧 (0.500 ~ 0.505 MPa ) 使用工具:なし 所要時間: 3 分 (設備電源ON) オプシ…

4 定期点検
24時間

NPM-W2 EJM7DJ-MB-04M-00
始業前
圧力計の点検 1
4-1-1-1
メンテナンス
編
4-1-1
エア圧を確認する
供給圧の点検について説明します。
前側
後側
真空破壊圧
(8~12 kPa)
真空ポンプ供給圧
(-100 ~ -87 kPa)
清掃ブロー圧
(0.13 ~ 0.14 MPa)
メインエア圧
(0.500 ~ 0.505 MPa)
使用工具:なし 所要時間:3分 (設備電源ON)
オプションエア圧
(0.4 MPa)

NPM-W2 EJM7DJ-MB-04M-00
1
4-1-1-2
2
2
24
時
間
メ
ン
テ
ナ
ン
ス
真空ポンプの供給圧を確認する
1
+
(表示が灰色から青色に切り替わり、真
空ポンプが起動する)
3
真空ポンプ供給圧 (圧力計) を
確認する
●圧力規定値:-100~-87 kPa