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NPM-W 2 EJM7DJ-MB-04M-00 1 4-1-1 -2 2 2 24 時 間 メ ン テ ナ ン ス 真空ポンプの供給圧を確認する 1 + ( 表示が灰色から青色に切り替わり、真 空ポンプが起動する ) 3 真空ポンプ供給圧 ( 圧力計 ) を 確認する ●圧力規定値: -100~-87 k Pa
NPM-W2 EJM7DJ-MB-04M-00
始業前
圧力計の点検 1
4-1-1-1
メンテナンス
編
4-1-1
エア圧を確認する
供給圧の点検について説明します。
前側
後側
真空破壊圧
(8~12 kPa)
真空ポンプ供給圧
(-100 ~ -87 kPa)
清掃ブロー圧
(0.13 ~ 0.14 MPa)
メインエア圧
(0.500 ~ 0.505 MPa)
使用工具:なし 所要時間:3分 （設備電源ＯＮ）
オプションエア圧
(0.4 MPa)
NPM-W2 EJM7DJ-MB-04M-00
1
4-1-1-2
2
2
24
時
間
メ
ン
テ
ナ
ン
ス
真空ポンプの供給圧を確認する
1
+
(表示が灰色から青色に切り替わり、真
空ポンプが起動する)
3
真空ポンプ供給圧 (圧力計) を
確認する
●圧力規定値:-100~-87 kPa
NPM-W2 EJM7DJ-MB-04M-00
始業前
4-1-1-3
エア圧を調整する(メインエア圧)
使用工具：六角レンチ(3 mm) 所要時間：3 分
●メインエア圧が規定値外のとき、調整してください。
圧力計の点検 2
1
ボルトを外して、後側圧力計カ
バーを外す
2
規定値内になるように調整する
●レギュレーターノブの操作方法
1 :ノブを引き上げる。
2 :調整する。
3 :ノブを押し下げる。
3
後側圧力計カバーを取り付ける
メンテナンス
編
4-1-1
メインエア用
レギュレーターノブ
●ボルト：2か所
後側圧力計
カバー
●ボルト：2か所
●ボルトを取り外す
後側