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NPM-W 2 EJM7DJ-MB-02M-00 概要 2-1-6 -9 12 ノズルヘッド ■ 12 ノズルヘッド ■ノズル ■ノズルホルダー ■ノズルチェンジャー ユニット別定期点検箇所 5 <装着ヘッド> (オプション) ※ 軽量 16 ノズルヘッド用と共通です。 ノズルフランジ上面 (2D コード部 ) ノズルテーパー面 ノズル先端部 ノズル内部 内外周部 ノズルクッション用 スプリング クランプ爪 クランプ爪押さえ用 スプリン…

NPM-W2 EJM7DJ-MB-02M-00
2-1-6-8
ノズル反射板接触面
軽量16ノズルヘッド
■軽量16ノズルヘッド ■ノズル
内外周部
ノズルクッション用
スプリング
クランプ爪
■ノズルホルダー
■ノズルチェンジャー
※12ノズルヘッド用と共通です。
クランプ爪押さえ用
スプリング
ノズルホルダー摺動面
真空エア経路
θ軸ベルト
スプラインシャフト摺動面
ノズルフランジ上面
(2Dコード部)
ノズルテーパー面
ノズル先端部
ノズル内部
ノズル反射板

NPM-W2 EJM7DJ-MB-02M-00
概要
2-1-6-9
12 ノズルヘッド
■12ノズルヘッド ■ノズル
■ノズルホルダー
■ノズルチェンジャー
ユニット別定期点検箇所 5
<装着ヘッド>(オプション)
※軽量16ノズルヘッド用と共通です。
ノズルフランジ上面
(2Dコード部)
ノズルテーパー面
ノズル先端部
ノズル内部
内外周部
ノズルクッション用
スプリング
クランプ爪
クランプ爪押さえ用
スプリング
ノズル反射板接触面
真空エア経路
ノズル反射板
θ軸ベルト
メンテナンス
編
2-1-6
スプラインシャフト摺動面
ノズルホルダー摺動面

NPM-W2 EJM7DJ-MB-02M-00
2-1-6-10
8ノズルヘッド
■8ノズルヘッド ■ノズル
■ノズルチェンジャー
ノズル先端部
ノズル反射板
ノズルフランジ上面
(2Dコード部)
ノズルテーパー面
ノズル先端部
ノズル内部
ノズル反射板接触面
真空エア経路
θ軸ベルト
スプラインシャフト摺動面
■ノズルホルダー
内外周部
ノズルクッション用
スプリング
クランプ爪
クランプ爪押さえ用
スプリング
ノズルホルダー摺動面