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第1部基本篇第2章生产 2-25 2-7-1-1 传送部的构成 1. 当为“销基准”时 1) 基板被搬入， IN 传感器①检测出基板后，传送马达⑦将驱动驱动轴⑧，通过传送带开始传送。同时，挡块⑨将变为 ON。 2) 当基板到达挡块⑨时，被停止传感器③检测出，支撑台面 ⑫ 上升。此时，基板被安装在支撑台面 ⑫ 上的定心销 ⑪ 、支撑销 ⑭ 所固定。 3) 固定后，下一块基板同样被送进，在待机传感器 ⑰ 的位置等候。 4) 生…

第1部基本篇第2章生产

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2-7 生产准备

<步骤>

2-7-1 基板的设置

固定基板(定心)的方式有2种。一种是使用定位销的“销基准”法，一种是使用夹杆(X，

Y)的“外形基准”法。

这里要讲述的是，如何在“生产”个别控制画面

※1

设置上述的不同方法。

*1：生产个别控制画面是指：按下“生产”—“传送·I/O 状态”画面内的“个别控制”

按钮，利用其功能来安排传送工作的画面。有关个别控制的详细说明，请参见第 8

章。

（注意）：要启动“生产”功能，需要读入生产程序。

调整传送轨道宽度

调整定心销位置

调整夹杆 X 位置

配置支撑销

外形基准

销基准

第1部基本篇第2章生产

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2-7-1-1 传送部的构成

1. 当为“销基准”时

1) 基板被搬入，IN 传感器①检测出基板后，传送马达⑦将驱动驱动轴⑧，通过传送带开始传送。

同时，挡块⑨将变为 ON。

2) 当基板到达挡块⑨时，被停止传感器③检测出，支撑台面⑫

上升。此时，基板被安装在支撑

台面⑫上的定心销⑪

、支撑销⑭所固定。

3) 固定后，下一块基板同样被送进，在待机传感器⑰

的位置等候。

4) 生产完成后解除固定，开始搬出。

5) 最初的基板在通过 C-搬出传感器④时，挡块⑨再次变为 ON，下一块基板则被固定。

2. 当为“外形基准”时

搬入动作与销基准时相同，在固定时，由挡块⑨、夹杆 X⑩(X 方向)、夹杆 Y⑮

(Y 方向)、支撑销

⑭

固定。

搬出动作与销基准时相同。

★

图 2.7.1.1 基板传送

① IN 传感器 ⑧ 驱动轴 ⑮ 夹杆 Y(外形基准用)

② 搬出传感器 ⑨ 挡块 ⑯ 减压阀(外形基准用)

③ 停止传感器 ⑩ 夹杆 X(外形基准用) ⑰ 等待传感器

④ C-OUT 传感器 ⑪ 定心销 ⑱ 调整手柄

⑤ 支撑台原点传感器 ⑫ 支撑台 ⑲ 调整挡块

⑥ 传送电磁阀 ⑬ 马达 ⑳ 调整杆

⑦ 传送马达 ⑭ 支撑销 21 手柄

⑦

⑩

⑨

②

⑧

⑤

⑥

①

③

④

⑧

①

②

★

第1部基本篇第2章生产

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2-7-1-2 传送轨道宽度的调整

1) 采用手动宽度调整(标准)时

<步骤>

1. 请调整传送的宽度。

在调整杆

上安装手柄

，将传送的宽度调整至基板能顺利通过的宽度(“基板宽度+0.5

mm～1mm”)。

2. 请确认整个传送轨道范围内，基板都能顺利通过。

3. 调整完成后，请卸下手柄。

2) 采用自动宽度调整(AWC、选购件)时

也可打开生产程序文件，在“基板宽度自动调整”（AWC,选项）画面上进行调整。这里就下列

“生产”—“传送·I/O 状态”画面，讲述从画面上进行调整的方法。

1. 请启动“生产”。

2. 在菜单栏点击“窗口”—“传送·I/O 状态”

图 2-7-1-2-1 传送·I/O 状态(生产空运行状态)