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第 2 部 功能详细编 第 9 章 手动控制 (3) 控制按钮 用控制按钮来执行控制项目。 选择控制项目后,按“执行(E )”按钮或按下“F3”键进行控制。 1) 初始化 将基板传送初始化。 2) 基板搬入 根据定位方式中所指定的方式搬入基板。 3) 基板搬出 将基板搬出。 4) 基板固定解除 解除基板的固定。 5) 重新夹紧基板 按定位方式指定的方式,重夹传送通道上的基板。 6) 基板等待/搬出传感器检查 把在IN缓冲区上(入口马达传…

第 2 部 功能详细编 第 9 章 手动控制
9-4-2-2 自动控制传送
从菜单栏中选择“控制(C)”/“传送(C)”/“自动控制传送(A)”,则显示如下的自动控
制传送画面。
图 9-4-2-2-1 自动控制传送
(1) 控制项目
用按钮来选择控制项目。
(2) 定位方式
用按钮来选择定位方式。
◆ 在控制项目中选中“初始化”、“基板搬出”、“解除基板固定”、“基板等待传感器/搬出传感器
检查”时,不能进行设置。
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第 2 部 功能详细编 第 9 章 手动控制
(3) 控制按钮
用控制按钮来执行控制项目。
选择控制项目后,按“执行(E
)”按钮或按下“F3”键进行控制。
1) 初始化
将基板传送初始化。
2) 基板搬入
根据定位方式中所指定的方式搬入基板。
3) 基板搬出
将基板搬出。
4) 基板固定解除
解除基板的固定。
5) 重新夹紧基板
按定位方式指定的方式,重夹传送通道上的基板。
6) 基板等待/搬出传感器检查
把在IN缓冲区上(入口马达传送带上)的入口传感器与等待传感器之间的基板,移动到等
待传感器可打开的位置上。
此外,把OUT缓冲区(出口马达传送带上)上未达到搬出传感器传感范围的基板,移动到出
口传感器可打开的位置上。
(4) 状态显示
连续显示动作状态、各传感器、各信号、各单元的状态。
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第 2 部 功能详细编 第 9 章 手动控制
9-4-2-3 自动调整基板宽度控制
从菜单栏中选择“控制”/“传送系统”/“自动调整基板幅宽”,则显示如下的自动基板宽
度调整控制画面。
图 9-4-2-3-1 自动调整基板宽度控制
(1) 控制项目
用按钮来选择控制项目。
(2) 控制按钮
用控制按钮来执行控制项目。
选择控制项目,选择“执行(E)”按钮或按下“F3”键来进行控制。
1) 返回原点
将自动基板宽度调整进行返回原点。
2) 宽度变更
变更传送的宽度。
(3) 状态显示
连续显示各传感器、各单元的状态。
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