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第 2 部 功能详细编 第 9 章 手动控制 9-4-2-2 自动控制传送 从菜单栏中选择“控制（C）”/“传送（C）”/“自动控制传送(A)”， 则显示如下的自动控 制传送画面。 图 9 -4-2-2-1 自动控制传送 (1) 控制项目 用按钮来选择控制项目。 (2) 定位方式 用按钮来选择定位方式。 ◆ 在控制项目中选中 “初始化” 、 “基板搬出” 、 “解除基板固定” 、 “基板等待传感器/搬出传感器 检查”时，不能进行设置。 …
第 2 部 功能详细编 第 9 章 手动控制
(2) 控制按钮
按动控制按钮，执行控制项目。
控制按钮的显示因控制项目而异。
选择要控制的项目，选择“打开（O
）”按钮、“关闭(F)”按钮、“打开/关闭(/)”按钮或
按下 “F3”键、“F4”键、“F5”键进行控制。选中支撑台时，按“上（U）”、“下(D)”、
“上/下（/）”按钮进行控制。
(3) 状态显示
控制结束时显示各传感器、各单元的状态。
连续显示各传感器、各信号、各单元的状态。
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第 2 部 功能详细编 第 9 章 手动控制
9-4-2-2 自动控制传送
从菜单栏中选择“控制（C）”/“传送（C）”/“自动控制传送(A)”，则显示如下的自动控
制传送画面。
图 9-4-2-2-1 自动控制传送
(1) 控制项目
用按钮来选择控制项目。
(2) 定位方式
用按钮来选择定位方式。
◆ 在控制项目中选中“初始化”、“基板搬出”、“解除基板固定”、“基板等待传感器/搬出传感器
检查”时，不能进行设置。
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第 2 部 功能详细编 第 9 章 手动控制
(3) 控制按钮
用控制按钮来执行控制项目。
选择控制项目后，按“执行(Ｅ
)”按钮或按下“F3”键进行控制。
1) 初始化
将基板传送初始化。
2) 基板搬入
根据定位方式中所指定的方式搬入基板。
3) 基板搬出
将基板搬出。
4) 基板固定解除
解除基板的固定。
5) 重新夹紧基板
按定位方式指定的方式，重夹传送通道上的基板。
6) 基板等待/搬出传感器检查
把在IN缓冲区上（入口马达传送带上）的入口传感器与等待传感器之间的基板，移动到等
待传感器可打开的位置上。
此外，把OUT缓冲区（出口马达传送带上）上未达到搬出传感器传感范围的基板，移动到出
口传感器可打开的位置上。
(4) 状态显示
连续显示动作状态、各传感器、各信号、各单元的状态。
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