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第 1 部 基本篇 第 4 章 制作生产程序 ● 当标记识别不稳 定时,请按下照明条件设 定按钮,设置照明图 案。 请在指定测定框 的左上方前,先设置 照明图案。 图 4.5.2.3.1-3 设置照明条件 按下设置照明条 件按钮,显示如下画 面。请设置照明图案 类型。 图 4.5.2.3.1-4 设置照明图案 ·按 < 应用 > 按钮 确认所确定设定光量 下的图像。 照明图案 处理 标准照明 识别通常的基板标记 时使用。 阻…

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1 基本篇 4 制作生产程序
继续键则继续进行示教摄像机移动到标记的XY坐标,监视画面上显示出示教对(忆的)
的图案。
※当监视器画面上没有想示教的图案时,请检查输入的坐标是否正确。
※对于陶瓷基板标记(标记为白),检查后请再按下“CAMERA。在此按摄像机键,
切换极性(对比度)
请设定检测框。
按上下左右箭头(使用 FAST 键可加速检测框的移动速度)
,调整上、左、下、右(按
序输入),设置检测框。
此时,将自动识别标记,并获的校正所需数据。
自动获得标记周围的干扰隔离级别,并显示在监视器上。
使用HOD的↑键、↓键(XY移动上下箭头键)进行调整,使标记清晰可见且周围的干扰非常小。
调整结束后请按ENTER键。
显示摄象机图像和长方形的框。
首先设定上面及左面的刻度框。
请调整至与标记的上面及左面一致。
调整后按 ENTER 键。
同样的,设定下面及右面的刻度框。
调整后按 ENTER 键。
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1 基本篇 4 制作生产程序
当标记识别不稳定时,请按下照明条件设定按钮,设置照明图案。
请在指定测定框的左上方前,先设置照明图案。
4.5.2.3.1-3 设置照明条件
按下设置照明条件按钮,显示如下画面。请设置照明图案类型。
4.5.2.3.1-4 设置照明图案
·按<应用>按钮确认所确定设定光量下的图像。
照明图案 处理
标准照明 识别通常的基板标记时使用。
阻剂/保护胶片的图案
照明
在标记上有阻剂或保护胶片,标准照明时标记反射不佳,
识别不稳定时使用。
用户定义的照明
上述 2 种情况下标记的反射均不佳,识别不稳定时,直接
设定垂直、角度照明的光量时使用。
※用户定义的照明模式,一般设置 50200 之间。设置在 50 以下时,有时光亮不稳定。
在标记信息相同而需要仅对检测框进行重新示教时,按 HOD NEXT 键即可
略过③的操作。
但重新识别标记时,NEXT 键无效。
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1 基本篇 4 制作生产程序
请选择标记的形状。
标记的形状将被自动判别。判别结果有误时,请用HOD的↑键、↓键(XY移动上下箭头键)
选择正确的标记
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[ ]PR
请进行检测框的示教。
完成④的操作后,画面中心(默认窗口)会自动显示标记尺寸 1.5 倍的标记。要改变检测框时,
请执行④的步骤
在此,如果按下 HOD PREVIOUS 键,可返回检测框的示教(③的操作)
按与刻度框同样的方式来设定检测框。设定的方
法与刻度框相同。
完成调整后,按 ENTER 键。
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