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第 1 部 基本篇 第 4 章 制作生产程序 7) 跟踪吸取高度各点时 的动作 ① 如果在跟踪吸取 高度的条件设定中已设定 了“与测量值间有差 异则停止” , 则与测量值间有 差异时，会显示如下 信息。 自动传送将停止 ，请确认吸取数据的 高度值。 ② 如果在跟踪吸取 高度的条件设定中已设定 了“如果无法测量则 停止” , 则无法使用 HMS 测 量时，会显示 如下对话框。 自动传送将停止 ，请确认吸取位置。 ③ 如果在吸取高跟 踪的条…
第 1 部 基本篇 第 4 章 制作生产程序
◆ 吸取跟踪中的示教操作流程
向吸取坐标
XY 编辑箱中
输入焦距
按下 HOD 设备键
示教操作
确定坐标后
ENTER
CANCEL
按下“设定”
或 ENTER 按钮
按下“取消”
或 CANCEL 按钮
变更吸取数据
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第 1 部 基本篇 第 4 章 制作生产程序
7) 跟踪吸取高度各点时的动作
① 如果在跟踪吸取高度的条件设定中已设定了“与测量值间有差异则停止”,
则与测量值间有差异时，会显示如下信息。
自动传送将停止，请确认吸取数据的高度值。
② 如果在跟踪吸取高度的条件设定中已设定了“如果无法测量则停止”,
则无法使用HMS测量时，会显示如下对话框。
自动传送将停止，请确认吸取位置。
③ 如果在吸取高跟踪的条件设定中设定了“进行测量值的获取动作”,
则会询问,是否把HMS获得的测量值加入到吸取数据的Z坐标中。
需加入时按下“是”。
8) 跟踪时的SOT方向检查(选项)
在跟踪暂停时，可进行SOT方向检查。
在SOT方向检查中，显示如下画面。
此外，SOT方向检查后，检查结果显示“OK”或“NG”。
图 4.5.4.4.4-6
图 4.5.4.4.4-7
图 4.5.4.4.4-8
图 4.5.4.4.4-9
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第 1 部 基本篇 第 4 章 制作生产程序
9) 跟踪时的自动示教
跟踪暂停时，可进行自动示教。
自动示教时，会出现下列 5 种错误/询问。
①尺寸异常时
空洞指的是，安装元件的凹进部分。空洞尺寸与元件尺寸相比显得异常时，会显示如下错
误提示。
图 4.5.4.4.4-10
②浓度异常时
空洞影子浓度异常时，会显示如下错误提示。
图 4.5.4.4.4-11
③ 空洞中心偏移时
设定的吸取数据与自动示教矫正的吸取数据差距过大时，显示如下错误提示。
图 4.5.4.4.4-12
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