3OM-1053-002.pdf - 第232页
• • • • • シートの構成 シートの構成 シートの構成 シートの構成 シートの構成 *1 *1 *1 *1 *1 XY XY XY XY XY テーブル テーブル テーブル テーブル テーブル X( X( X( X( X( 横 横 横 横 横 )[mm] )[mm] )[mm] )[mm] )[mm] 、 、 、 、 、 Y( Y( Y( Y( Y( 縦 縦 縦 縦 縦 )[mm] )[mm] )[mm] )[mm] )[mm] …
Fig.3E11-1
Fig.3E11-2
3.2 “オフセットデータ”タブ
0301-001 5-11-1 AGH01JDTP
••
••
•
シートの構成シートの構成
シートの構成シートの構成
シートの構成
*1*1
*1*1
*1
XYXY
XYXY
XY
テーブルテーブル
テーブルテーブル
テーブル
X( X(
X( X(
X(
横横
横横
横
)[mm])[mm]
)[mm])[mm]
)[mm]
、、
、、
、
Y(Y(
Y(Y(
Y(
縦縦
縦縦
縦
)[mm])[mm]
)[mm])[mm]
)[mm]
XY テーブル原点とヘッドの装着位置基準とのオフセットデータ
です。
XY テーブルが原点にあるときの基板原点と装着ヘッド No.1 ノズ
ルの装着位置基準との距離設定オフセットで設計値に対しての
調整データです。
Fig.3E12
0306-005 5-12
AGH01JDTP
3.2 “オフセットデータ”タブ
*2*2
*2*2
*2
スコープスコープ
スコープスコープ
スコープ
X角度[°]、Y 角度[°]
スコープ XY 軸と部品認識カメラ（カメラ 1 高倍）の走査座標 XY
との角度差オフセットです。
治具ノズルを用いて算出します。
*3*3
*3*3
*3
吸着吸着
吸着吸着
吸着
ZZ
ZZ
Z
補正補正
補正補正
補正
[mm][mm]
[mm][mm]
[mm]
吸着 Z 補正軸(CZ)原点位置のオフセットです。
このオフセット値を“+”(プラス)で入力するとノズルの
下降量が増加する方向に作用します。
*4*4
*4*4
*4
装着装着
装着装着
装着
ZZ
ZZ
Z
補正補正
補正補正
補正
[mm][mm]
[mm][mm]
[mm]
装着 Z 補正軸(MZ)原点位置のオフセットです。
このオフセット値を“+”(プラス)で入力するとノズルの
下降量が増加する方向に作用します。
*5*5
*5*5
*5
基板移載基板移載
基板移載基板移載
基板移載
L(左)[mm]、R(右)[mm]
基板移載時の送り限を調整するオフセットです。
このオフセットは移載ストロークの微調整用として作用
します。
Fig.3E13
0301-005 5-13 AGH01JDTP
3.2 “オフセットデータ”タブ