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（（（（（ A02 A02 A02 A02 A02 ）））））基基基基基板板板板板認認認認認識識識識識デデデデデーーーーータタタタタ Fig.3B40 編集画面例（（（（（ A02_01 A02_01 A02_01 A02_01 A02_01 ）））））基板認識機能選択基板認識機能選択基板認識機能選択基板認識機能選択基板認識…

マスター不良検出機能についてマスター不良検出機能について

マスター不良検出機能について

バッドマークを付けるものが少なく単位基板がすべて良品の基板が

多い場合、毎回すべての単位基板毎に割基板不良検出を実行するの

は、効率が悪くなります。

この場合には、マスター不良検出機能が有効となります。

単位基板のバッドマークを検出する前に、このマスター不良検出を

行い、マスター不良検出バッドマークが検出されない場合には、す

べての単位基板が良品と判断され、単位基板毎の不良検出動作の実

行が省略されます。

Fig.3B39

2.3 オペレーションデータ

0206-004 2-24 AGH01JDTP

マスター不良検出機能を“使用する”にした場合は、バッド

マークを付けた基板に必ずマスター不良検出バッドマークを

つけてください。

マスター不良検出バッドマークを付けないとすべての割基板

が良品処理されてしまいますので注意してください。

注意

（（

（

A02A02

A02

））

）

基基

基

板板

板

認認

認

識識

識

デデ

デ

ーー

ー

タタ

タ

Fig.3B40 編集画面例

（（

（

A02_01A02_01

A02_01

））

）

基板認識機能選択基板認識機能選択

基板認識機能選択

基板認識機能を設定します。

認識しない: 基板認識機能を使用しません。

認識する : 基板認識機能を使用します。

基板認識方法全体認識基板認識方法全体認識

基板認識方法全体認識

“基板認識機能選択”を“認識する”に設定した場合、全体認識の設

定を以下から選択します。

認識しない: 基板全体認識を行いません。

1 点認識 : 基板全体認識を 1 点で行います。

2 点認識 : 基板全体認識を 2 点で行います。

3 点認識 : 基板全体認識を 3 点で行います。

0206-004 2-25 AGH01JDTP

2.3 オペレーションデータ

認識する

基板認識機能選択

Fig.3B41

基板認識方法全体認識

Fig.3B42

2点認識

点認識点認識

点認識

X 成分、Y 成分の補正のみ行いθ成分の伸び等は補正されません。

Fig.3B43

点認識点認識

点認識

基板認識マークは、基板の対角に距離を大きく取って指定してくだ

さい。

Fig.3B44

基板認識マークは、以下のような縦または横に並ぶような位

置を避けてください。

Fig.3B45

点認識点認識

点認識

基板認識マークの 3 点を結んでできる三角形の面積ができるかぎり

大きくなるように基板認識マーク位置を指定してください。

Fig.3B46

基板認識マークの3 点のうちの 2点が非常に近い位置に指定

されている場合、2 点認識と同様の補正結果になります。

0111-003 2-26 AGH01JDTP

2.3 オペレーションデータ