3OM-1053-002.pdf - 第236页

*13 *13 *13 *13 *13 バックアップピン上下 バックアップピン上下 バックアップピン上下 バックアップピン上下 バックアップピン上下 [mm] [mm] [mm] [mm] [mm] 基板厚とバックアップピンの長さ(実測値)との差分のオフ セット値です。 *14 *14 *14 *14 *14 割基板不良検出 割基板不良検出 割基板不良検出 割基板不良検出 割基板不良検出 X(横)[mm]、Y(縦)[mm] 割基板不良検…

100%1 / 311
このオフセット値を“+”(プラス)で入力すると吸着位置
に対し Fdr.No. 方向に作用します。
Fig.3E15
*9*9
*9*9
*9
フィーダ待機位置フィーダ待機位置
フィーダ待機位置フィーダ待機位置
フィーダ待機位置
F1[mm]、F2[mm]
フィーダ軸原点復帰位置の実測値との差分オフセット値です。
Fig.3E15-1
*10*10
*10*10
*10
供給コンベア幅供給コンベア幅
供給コンベア幅供給コンベア幅
供給コンベア幅
[mm][mm]
[mm][mm]
[mm]
基板寸法 Y とコンベア幅の実測値との差分オフセット値です。
実測値は、クリアランスデータおよび装置オフセットを
“0”として、コンベア幅を動作させた後に測定します。
*11*11
*11*11
*11
排出コンベア幅排出コンベア幅
排出コンベア幅排出コンベア幅
排出コンベア幅
[mm][mm]
[mm][mm]
[mm]
基板寸法 Y とコンベア幅の実測値との差分オフセットです。
実測値は、クリアランスデータおよび装置オフセット
を“0”として、コンベア幅を動作させた後に測定しま
す。
*12*12
*12*12
*12
XYXY
XYXY
XY
テーブルシュート幅テーブルシュート幅
テーブルシュート幅テーブルシュート幅
テーブルシュート幅
[mm] [mm]
[mm] [mm]
[mm]
XY テーブルのシュート幅の実測値との差分オフセット値です。
(a) 測定は、スライドブロックのローラ位置ではなく、
基板出入り口部(固定部)で行ってください。
(b) 実測値は、クリアランスデータおよび装置オフ
セットを“0”として、コンベア幅を動作させた後
に測定します。
0306-006 5-15 AGH01JDTP
3.2 “オフセットデータ”タブ
*13*13
*13*13
*13
バックアップピン上下バックアップピン上下
バックアップピン上下バックアップピン上下
バックアップピン上下
[mm][mm]
[mm][mm]
[mm]
基板厚とバックアップピンの長さ(実測値)との差分のオフ
セット値です。
*14*14
*14*14
*14
割基板不良検出割基板不良検出
割基板不良検出割基板不良検出
割基板不良検出
X(横)[mm]、Y(縦)[mm]
割基板不良検出センサの位置ずれを補正するオフセットデータ
です。
X(横) : 横方向の位置補正データです。
Y(縦) : 縦方向の位置補正データです。
0301-005 5-16
AGH01JDTP
3.2 “オフセットデータ”タブ
3.2.23.2.2
3.2.23.2.2
3.2.2
タブタブ
タブタブ
タブ
“ヘッド”タブシートは、[ヘッド原点]タブ、[ヘッドオフセット]
ブ、[ヘッド回転中心]タブで構成されます。
シートの表示シートの表示
シートの表示シートの表示
シートの表示
“オフセットデータ”タブシートの[ヘッド]タブを押すと、以下の
タブシートが表示されます。
Fig.3E17
シートの構成シートの構成
シートの構成シートの構成
シートの構成
*1*1
*1*1
*1
[[
[[
[
ヘッド原点ヘッド原点
ヘッド原点ヘッド原点
ヘッド原点
]]
]]
]
タブタブ
タブタブ
タブ
“ヘッド原点”タブシートが表示されます。
*2*2
*2*2
*2
[[
[[
[
ヘッドオフセットヘッドオフセット
ヘッドオフセットヘッドオフセット
ヘッドオフセット
]]
]]
]
タブタブ
タブタブ
タブ
“ヘッドオフセット”タブシートが表示されます。
*3*3
*3*3
*3
[[
[[
[
ヘッド回転中心ヘッド回転中心
ヘッド回転中心ヘッド回転中心
ヘッド回転中心
]]
]]
]
タブタブ
タブタブ
タブ
“ヘッド回転中心”タブシートが表示されます。
0301-004 5-17 AGH01JDTP
3.2 “オフセットデータ”タブ
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