3OM-1053-002.pdf - 第277页
*6 *6 *6 *6 *6 後工程の排出方式 後工程の排出方式 後工程の排出方式 後工程の排出方式 後工程の排出方式 後工程装置との基板授受を設定します。 標準 後工程装置が当社製の装置に接続した場合は、 “標準”に設定 してください。 コンベアによる基板の授受で後工程のワーク要求信号 O N を条件 にワーク搬送信号を O N して基板を排出します。 基板排出動作開始後、所定時間内にワーク要求信号が O FF しな い場合は、異常停…
*5*5
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供給コンベア供給コンベア
供給コンベア供給コンベア
供給コンベア
タイマー 1[秒]、タイマー 2[秒]、停止タイマー[秒]
供給コンベアの設定です。
タイマー 1[秒]
前工程との基板授受での供給コンベアの動作制限時間を設定し
ます。
供給コンベアの動作している時間を計り、基板の引っかかり異
常の監視に使用されます。
(a) 設定は、前工程装置との基板授受搬送に要する時間
に 2 秒程度加算したデータを設定します。
(b) データの入力範囲は“0 ∼ 99 秒”です。
タイマー 2[秒]
供給コンベアによる基板の装置内搬送における供給コンベアの
動作制限時間を設定します。
供給コンベアの動作している時間を計り、基板の引っかかり異
常の監視に使用されます。
データの入力範囲は“0 ∼ 99 秒”です。
停止タイマー[秒]
供給コンベアのバッファ位置のセンサが基板を検出してから、
コンベアが停止するまでのディレー時間を設定します。
以下の図のような基板の場合に、フォトセンサが基板を検出
し、停止した際に、ちょうど基板パターンの隙間で基板が停止
してしまうと基板なしと判定してしまうので、ディレータイマ
を設定します。
Fig.3E42
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0301-005 5-52 AGH01JDTP
3.3 “運転パラメータ”タブ
*6*6
*6*6
*6
後工程の排出方式後工程の排出方式
後工程の排出方式後工程の排出方式
後工程の排出方式
後工程装置との基板授受を設定します。
標準
後工程装置が当社製の装置に接続した場合は、“標準”に設定
してください。
コンベアによる基板の授受で後工程のワーク要求信号 ON を条件
にワーク搬送信号を ON して基板を排出します。
基板排出動作開始後、所定時間内にワーク要求信号が OFF しな
い場合は、異常停止します。
インターバル
後工程のワーク要求信号 ON を条件に、基板を排出します。
所定時間(排出コンベアタイマーで設定した時間)経過後、コン
ベアを停止します。
コンベア停止後、[排出インターバルタイマー]で設定時間の経
過後、排出条件が整えば排出動作を開始します。
異常の検出は行いません。
SMEMA (使用不可）
SMEMA 規格による搬送 I/F を行います。
*7*7
*7*7
*7
排出コンベア排出コンベア
排出コンベア排出コンベア
排出コンベア
タイマー 1[秒]、タイマー 2[秒]
停止タイマー(バッファ 1)[秒]、停止タイマー(バッファ 2)[秒]
タイマー 1[秒]
後工程との基板授受で排出コンベアの動作制限時間を設定しま
す。
(a) 設定は、後工程装置との基板授受搬送に要する時間
に 2 秒程度加算したデータを設定します。
(b) データの入力範囲は“0 ∼ 99 秒”です。
タイマー 2[秒]
排出コンベアの基板の装置内搬送における動作制限時間を設定
します。
データの入力範囲は“0 ∼ 99 秒”です。
停止タイマー(バッファ 1)[秒]
排出コンベアのバッファ 1 位置のセンサが基板を検出してか
ら、コンベアが停止するまでのディレー時間を設定します。
0301-005 5-53 AGH01JDTP
3.3 “運転パラメータ”タブ
停止タイマー(バッファ 2)[秒]
排出コンベアのバッファ 2 位置のセンサが基板を検出してか
ら、コンベアが停止するまでのディレー時間を設定します。
*8*8
*8*8
*8
排出インターバルタイマー排出インターバルタイマー
排出インターバルタイマー排出インターバルタイマー
排出インターバルタイマー
[[
[[
[
秒秒
秒秒
秒
]]
]]
]
後工程への排出方式が“インターバル”に設定されている場合
に排出インターバルを確保したい場合に設定してください。
データの入力範囲は“0 ∼ 99 秒”です。
*9*9
*9*9
*9
供給バッファ枚数供給バッファ枚数
供給バッファ枚数供給バッファ枚数
供給バッファ枚数
[[
[[
[
枚枚
枚枚
枚
]]
]]
]
供給コンベアの上に待機できる基板枚数を設定します。
供給バッファ枚数は 1 枚、2 枚のどちらかを選択しま
す。
*10*10
*10*10
*10
排出バッファ枚数排出バッファ枚数
排出バッファ枚数排出バッファ枚数
排出バッファ枚数
[[
[[
[
枚枚
枚枚
枚
]]
]]
]
排出コンベアの上に待機できる基板枚数を設定します。
排出バッファ枚数は 1 枚、2 枚のどちらかを選択しま
す。
Fig.3E43
0301-005 5-54 AGH01JDTP
3.3 “運転パラメータ”タブ