3OM-1053-002.pdf - 第280页

*14 *14 *14 *14 *14 通過動作選択通過動作選択通過動作選択通過動作選択通過動作選択通過動作の方法を以下から選択します。コンベア：コンベアが動作して、基板が通過します。移載爪：コンベアと基板移載爪が動作して、基板が通過します。 *15 *15 *15 *15 *15 排出コンベア基板外れ検出排出コンベア基板外れ検出排出コンベア基板外れ検出排出コンベア基板外れ検出排出コンベア基板外れ検出排出…

*11*11

*11

基板排出バッファ位置基板排出バッファ位置

基板排出バッファ位置

基板搬送動作の基板バッファ位置を“出口”、“中間”に設定し

ます。

Fig.3E44、Fig.3E45 は、“基板流れ左から右”を説明

しています。

“基板流れ右から左”は、図とは逆の動作となります。

“出口”設定時の動作

“中間”設定時の動作

*12*12

*12

XYXY

コンベア逆転ストロークコンベア逆転ストローク

コンベア逆転ストローク

[mm][mm]

[mm]

基板移載時のシュートコンベア（XY コンベア）の逆転量を指

定します。

移載動作において、基板をシュート上に送り込んだ時点で移載

爪と基板が離れている場合があります。

基板の送り込み完了後、シュートコンベア（XY）を指定した値

分逆転させ移載爪に確実に当てることにより、基板の位置決め

が正常に完了します。

初期値（出荷値）： 5.0 mm

*13*13

*13

クランプタイマークランプタイマー

クランプタイマー

[[

[

秒秒

秒

]]

]

Z クランプタイマーの時間を設定します。

Fig.3E44

Fig.3E45

0301-005 5-55 AGH01JDTP

3.3 “運転パラメータ”タブ

*14*14

*14

通過動作選択通過動作選択

通過動作選択

通過動作の方法を以下から選択します。

コンベア：コンベアが動作して、基板が通過します。

移載爪：コンベアと基板移載爪が動作して、基板が通過しま

す。

*15*15

*15

排出コンベア基板外れ検出排出コンベア基板外れ検出

排出コンベア基板外れ検出

排出コンベア部において基板外れの“検出しない”または“検

出する”を設定します。

*16*16

*16

炉信号チェック機能炉信号チェック機能

炉信号チェック機能

炉信号チェック機能の“検出しない”または“検出する”を設

定します。

“前工程の排出方式”または“後工程の排出方式”を

“SMEMA”に設定すると、この機能は使用できません。

*17*17

*17

基板有無信号確認基板有無信号確認

基板有無信号確認

基板有無信号の確認を行うかどうか設定します。

確認しない：基板有無信号を確認しません。

前後工程：前工程 / 後工程位置から基板有無信号を確認し

ます。

前工程のみ：前工程装置からの基板有無信号を確認します。

後工程のみ：後工程装置からの基板有無信号を確認します。

(a) 基板有無信号を確認する設定の場合、前工程およ

び後工程装置のコンベア上の基板を検出し、本装

置の自動段取りなどの動作を制限します。

(b)“前工程の排出方式”または“後工程の排出方式”

を“SMEMA”に設定すると、この機能は使用できま

せん。

*18*18

*18

移載コンベア逆転速度移載コンベア逆転速度

移載コンベア逆転速度

基板搬送時に、コンベアを逆転させてワーク基板を移載爪に寄

せる動作の速度を可変することができます。

以下から選択します。

減速なし 10% 減速 20% 減速 30% 減速 40% 減速

50% 減速 60% 減速 70% 減速 80% 減速 90% 減速

0301-005 5-56

AGH01JDTP

3.3 “運転パラメータ”タブ

3.43.4

3.4

““

“

環環

環

境境

境

設設

設

定定

定

””

”

タブタブ

タブ

3.4.13.4.1

3.4.1

““

“

タタ

タ

ワワ

ワ

ーー

ー

灯灯

灯

””

”

タブタブ

タブ

••

•

シートの表示シートの表示

シートの表示

“環境設定”タブシートの[タワー灯］タブを押すと、以下のタブ

シートが表示されます。

Fig.3E46 “タワー灯”タブシート

••

•

シートの構成シートの構成

シートの構成

*1*1

データ名データ名

データ名

タワー灯色(赤、黄、緑）とブザー音を設定する項目が表示さ

れます。

*2*2

赤、赤、

赤、

黄、黄、

黄、

緑緑

緑

タワー灯色(赤、黄、緑）の“点灯”、“消灯”を設定します。

*3*3

ブザーブザー

ブザー

ブザーの“消音”、“断続音”、“連続音”、“設定音”を設定しま

す。

“登録音”は、“ブザー設定”タブシートで、任意のパターンを

作成することができます。

0301-004 5-57 AGH01JDTP





 

3.4 “環境設定”タブ