3OM-1053-002.pdf - 第237页
3.2.2 3.2.2 3.2.2 3.2.2 3.2.2 “ “ “ “ “ ヘ ヘ ヘ ヘ ヘ ッ ッ ッ ッ ッ ド ド ド ド ド ” ” ” ” ” タブ タブ タブ タブ タブ “ヘッド”タブシートは、 [ ヘッド原点]タブ、 [ヘッドオフセット］ タ ブ、 [ ヘッド回転中心]タブで構成されます。 • • • • • シートの表示 シートの表示 シートの表示 シートの表示 シートの表示 “オフセットデータ”タブシートの[ …
*13*13
*13*13
*13
バックアップピン上下バックアップピン上下
バックアップピン上下バックアップピン上下
バックアップピン上下
[mm][mm]
[mm][mm]
[mm]
基板厚とバックアップピンの長さ（実測値）との差分のオフ
セット値です。
*14*14
*14*14
*14
割基板不良検出割基板不良検出
割基板不良検出割基板不良検出
割基板不良検出
X(横)[mm]、Y(縦)[mm]
割基板不良検出センサの位置ずれを補正するオフセットデータ
です。
X(横) : 横方向の位置補正データです。
Y(縦) : 縦方向の位置補正データです。
0301-005 5-16
AGH01JDTP
3.2 “オフセットデータ”タブ
3.2.23.2.2
3.2.23.2.2
3.2.2
““
““
“
ヘヘ
ヘヘ
ヘ
ッッ
ッッ
ッ
ドド
ドド
ド
””
””
”
タブタブ
タブタブ
タブ
“ヘッド”タブシートは、[ヘッド原点]タブ、[ヘッドオフセット］タ
ブ、[ヘッド回転中心]タブで構成されます。
••
••
•
シートの表示シートの表示
シートの表示シートの表示
シートの表示
“オフセットデータ”タブシートの[ヘッド］タブを押すと、以下の
タブシートが表示されます。
Fig.3E17
••
••
•
シートの構成シートの構成
シートの構成シートの構成
シートの構成
*1*1
*1*1
*1
[[
[[
[
ヘッド原点ヘッド原点
ヘッド原点ヘッド原点
ヘッド原点
]]
]]
]
タブタブ
タブタブ
タブ
“ヘッド原点”タブシートが表示されます。
*2*2
*2*2
*2
[[
[[
[
ヘッドオフセットヘッドオフセット
ヘッドオフセットヘッドオフセット
ヘッドオフセット
]]
]]
]
タブタブ
タブタブ
タブ
“ヘッドオフセット”タブシートが表示されます。
*3*3
*3*3
*3
[[
[[
[
ヘッド回転中心ヘッド回転中心
ヘッド回転中心ヘッド回転中心
ヘッド回転中心
]]
]]
]
タブタブ
タブタブ
タブ
“ヘッド回転中心”タブシートが表示されます。
0301-004 5-17 AGH01JDTP
3.2 “オフセットデータ”タブ
(1) (1)
(1) (1)
(1)
““
““
“
ヘヘ
ヘヘ
ヘ
ッッ
ッッ
ッ
ドド
ドド
ド
原原
原原
原
点点
点点
点
””
””
”
タブタブ
タブタブ
タブ
••
••
•
シートの表示シートの表示
シートの表示シートの表示
シートの表示
“ヘッド”タブシートの[ヘッド原点］タブを押すと、以下のタブ
シートが表示されます。
Fig.3E18 “ヘッド原点”タブシート
••
••
•
シートの構成シートの構成
シートの構成シートの構成
シートの構成
*1*1
*1*1
*1
ヘッドヘッド
ヘッドヘッド
ヘッド
ヘッド番号が表示されます。
0301-004 5-18
AGH01JDTP
3.2 “オフセットデータ”タブ