3OM-1053-002.pdf - 第279页
*11 *11 *11 *11 *11 基板排出バッファ位置 基板排出バッファ位置 基板排出バッファ位置 基板排出バッファ位置 基板排出バッファ位置 基板搬送動作の基板バッファ位置を“出口” 、 “中間” に設定し ます。 Fig.3E44、Fig.3E45 は、 “基板流れ 左から右” を説明 しています。 “基板流れ右から左” は、図とは逆の動作となります。 “出口”設定時の動作 “中間”設定時の動作 *12 *12 *12 *12…
停止タイマー(バッファ 2)[秒]
排出コンベアのバッファ 2 位置のセンサが基板を検出してか
ら、コンベアが停止するまでのディレー時間を設定します。
*8*8
*8*8
*8
排出インターバルタイマー排出インターバルタイマー
排出インターバルタイマー排出インターバルタイマー
排出インターバルタイマー
[[
[[
[
秒秒
秒秒
秒
]]
]]
]
後工程への排出方式が“インターバル”に設定されている場合
に排出インターバルを確保したい場合に設定してください。
データの入力範囲は“0 ∼ 99 秒”です。
*9*9
*9*9
*9
供給バッファ枚数供給バッファ枚数
供給バッファ枚数供給バッファ枚数
供給バッファ枚数
[[
[[
[
枚枚
枚枚
枚
]]
]]
]
供給コンベアの上に待機できる基板枚数を設定します。
供給バッファ枚数は 1 枚、2 枚のどちらかを選択しま
す。
*10*10
*10*10
*10
排出バッファ枚数排出バッファ枚数
排出バッファ枚数排出バッファ枚数
排出バッファ枚数
[[
[[
[
枚枚
枚枚
枚
]]
]]
]
排出コンベアの上に待機できる基板枚数を設定します。
排出バッファ枚数は 1 枚、2 枚のどちらかを選択しま
す。
Fig.3E43
0301-005 5-54 AGH01JDTP
3.3 “運転パラメータ”タブ
*11*11
*11*11
*11
基板排出バッファ位置基板排出バッファ位置
基板排出バッファ位置基板排出バッファ位置
基板排出バッファ位置
基板搬送動作の基板バッファ位置を“出口”、“中間”に設定し
ます。
Fig.3E44、Fig.3E45 は、“基板流れ左から右”を説明
しています。
“基板流れ右から左”は、図とは逆の動作となります。
“出口”設定時の動作
“中間”設定時の動作
*12*12
*12*12
*12
XYXY
XYXY
XY
コンベア逆転ストロークコンベア逆転ストローク
コンベア逆転ストロークコンベア逆転ストローク
コンベア逆転ストローク
[mm][mm]
[mm][mm]
[mm]
基板移載時のシュートコンベア（XY コンベア）の逆転量を指
定します。
移載動作において、基板をシュート上に送り込んだ時点で移載
爪と基板が離れている場合があります。
基板の送り込み完了後、シュートコンベア（XY）を指定した値
分逆転させ移載爪に確実に当てることにより、基板の位置決め
が正常に完了します。
初期値（出荷値）： 5.0 mm
*13*13
*13*13
*13
ZZ
ZZ
Z
クランプタイマークランプタイマー
クランプタイマークランプタイマー
クランプタイマー
[[
[[
[
秒秒
秒秒
秒
]]
]]
]
Z クランプタイマーの時間を設定します。
Fig.3E44
Fig.3E45
0301-005 5-55 AGH01JDTP
3.3 “運転パラメータ”タブ
*14*14
*14*14
*14
通過動作選択通過動作選択
通過動作選択通過動作選択
通過動作選択
通過動作の方法を以下から選択します。
コンベア：コンベアが動作して、基板が通過します。
移載爪 ：コンベアと基板移載爪が動作して、基板が通過しま
す。
*15*15
*15*15
*15
排出コンベア基板外れ検出排出コンベア基板外れ検出
排出コンベア基板外れ検出排出コンベア基板外れ検出
排出コンベア基板外れ検出
排出コンベア部において基板外れの“検出しない”または“検
出する”を設定します。
*16*16
*16*16
*16
炉信号チェック機能炉信号チェック機能
炉信号チェック機能炉信号チェック機能
炉信号チェック機能
炉信号チェック機能の“検出しない”または“検出する”を設
定します。
“前工程の排出方式”または“後工程の排出方式”を
“SMEMA”に設定すると、この機能は使用できません。
*17*17
*17*17
*17
基板有無信号確認基板有無信号確認
基板有無信号確認基板有無信号確認
基板有無信号確認
基板有無信号の確認を行うかどうか設定します。
確認しない： 基板有無信号を確認しません。
前後工程 ：前工程 / 後工程位置から基板有無信号を確認し
ます。
前工程のみ ： 前工程装置からの基板有無信号を確認します。
後工程のみ ： 後工程装置からの基板有無信号を確認します。
(a) 基板有無信号を確認する設定の場合、前工程およ
び後工程装置のコンベア上の基板を検出し、本装
置の自動段取りなどの動作を制限します。
(b)“前工程の排出方式”または“後工程の排出方式”
を“SMEMA”に設定すると、この機能は使用できま
せん。
*18*18
*18*18
*18
移載コンベア逆転速度移載コンベア逆転速度
移載コンベア逆転速度移載コンベア逆転速度
移載コンベア逆転速度
基板搬送時に、コンベアを逆転させてワーク基板を移載爪に寄
せる動作の速度を可変することができます。
以下から選択します。
減速なし 10% 減速 20% 減速 30% 減速 40% 減速
50% 減速 60% 減速 70% 減速 80% 減速 90% 減速
0301-005 5-56
AGH01JDTP
3.3 “運転パラメータ”タブ