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NPM- TT2 EJM1EJ-MB-03 O-02 3-2-12 -1 基板反り検出エラーの対応方について説明します。 生産情報 基板反り検出エラー １ 1 操作編 3-2-12 ●エラーの種類は次の通り 5 つあります。 A : 基板反り範囲オーバー、 B: 基板反り想定範囲異 常、 C: 基板反り結果勾配異常、 D: 基板反 り計測エラー、 E: 基板反り補正不可 ●基板反り検出エラーが発生したとき、エラーの種 類に合わせて以下の…

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(エラーの詳細情報が表示される)
A
B
元の画面に戻る。
C
表示の種類を選ぶ。
ノズルごとの吸着情報
(→P.3-2-1-12)
A B C
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3-2-12-1
基板反り検出エラーの対応方について説明します。
生産情報
基板反り検出エラー １
1
操作編
3-2-12
●エラーの種類は次の通り5つあります。
A:基板反り範囲オーバー、B:基板反り想定範囲異常、C:基板反り結果勾配異常、D:基板反り計測エラー、
E:基板反り補正不可
●基板反り検出エラーが発生したとき、エラーの種類に合わせて以下の4つの方法にて操作してください。
①基板反り形状再計測
メインメニューに戻り 再度生産スタート
②エラー基板抜き取り
以下のフローを実施
+
2
(ホーム画面に戻る)
操作方法 エラーの種類
① 基板反り形状再計測
A、B、C
② エラー基板抜き取り
A、B、C
③ 基板反り勾配許容値変更
C
④ 基板反り計測ティーチ
A、B、C、D、E
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エラーとなった基板を設備から
抜き取る
4
抜き取り確認のあと
+
(生産が開始される)
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基板位置エラーが発生したあと
■トレイフィーダー仕様のとき
作業台(お客様準備品)を用いて基板を
抜き取ってください。
■交換台車仕様のとき
交換台車を取り外し、基板を抜き
取ってください。(→『メンテナンス
編』P.3-2)
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