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NPM- TT2 EJM1EJ-MB-04 O-03 4-2-3 -5 生産 データ ティーチ ング 基板反り計測点ティーチ ３ （オプション） 操作編 4-2-3 + (選択されている計測座標と周囲 4 点を 計測し、その結果が表示される) 8 9 (次の計測点に移動) ●以下のポイントを確認 1 2 3 4 5 1.5mm 1.5mm 計測点（中心）と周囲の差が 0.03 mm 以下 + ●全点の確認を行う ● の操作で計測座標を変…
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4-2-3-4
+
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計測したい座標Noを選択
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(計測する座標にヘッドカメラが移動
し、計測点の状態を視覚的に確認す
ることができる。)
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●画面に表示される画像の中心が計測
位置
●目視確認にて、計測点が基板表面の
条件に適合した面であることを確認
NPM-TT2 EJM1EJ-MB-04O-03
4-2-3-5
生産
データ
ティーチ
ング
基板反り計測点ティーチ ３
（オプション）
操作編
4-2-3
+
(選択されている計測座標と周囲4点を
計測し、その結果が表示される)
8
9
(次の計測点に移動)
●以下のポイントを確認
1
2
3
4
5
1.5mm
1.5mm
計測点（中心）と周囲の差が0.03 mm
以下
+
●全点の確認を行う
● の操作で計測座標を変更したと
き、変更した座標を保存するか確認
される。どちらかを選択する。
8
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● の操作で計測座標を変更したと
き、変更した座標を保存するか確認
される。どちらかを選択する。
8
8 9
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●計測結果が安定しないとき
インチングなどで計測に適した位置に
調整し、再度周囲計測を行う。
(□1.5 mm内に銅箔等の境界を含まな
いように調整する)
ティーチング手順 2
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差異 ：計測値と補正値の差
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計測値：理想の基板上面と測定基板上面
の差（計測基板上面が高いとき
は、プラスにて表示）
補正値：計測結果より算出した補正曲
面の同じ座標の値
●差異が±0.3mmを超えた場合は、エ
ラーとなり枠内の背景が黄色となる。
適正な補正曲面を得る為、計測点の見
直しを行う。また、計測値または補正
値が、-4.5mm未満または、+2mm
を超えたときも、エラーとなる。
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： の画面に遷移
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+
(計測座標全点の計測を行い、計測結
果を表示。)
基板があることと、
メッセージを確認して
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+
■操作しないとき
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( の画面のまま)
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