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NPM- TT2 EJM1EJ-MB-05 O-05 ■真空ポンプを ON にし、指定ノズル の真空破壊バルブだけを ON/OFF す るとき （上に真空破壊のときの圧力が表示され る） ■真空ポンプを ON にし、指定ノズルの 真空バルブだけを ON/OFF するとき （下に真空圧が表示される） ■清掃ブローを ON/OFF するとき （清掃ブローバルブの ON/OFF が切り替 わる） ■真空ポンプを ON/OFF するとき （真空…
NPM-TT2 EJM1EJ-MB-05O-05
5-2-6-2
+
4
(ノズルを外した状態で各ヘッドのエア
ブローと真空圧が計測される)
■エアブローと真空圧の計測に異常が
発生したとき
メッセージを確認して
(該当ノズルの計測値の背景が黄色で
表示される)
F
■エアブローと真空圧の計測が異常な
く完了したとき
に「清掃ブロー完了」と表示
される。
+
3
(各ノズルのブロー確認の結果が表示さ
れる)
●計測値は、センサー値のみが表示さ
れる。
3
4
H
H
posボタン
動作回数10回にて真空確認、またはブ
ロー確認を実施した場合に有効となる。
各posボタンを押すと、下図のような指
定したノズルポジションの計測結果
ウィンドウが表示される。
■真空確認のセンサー値を表示
するとき
■ブロー確認のセンサー値を表
示するとき
■ウィンドウを閉じるとき
■ブロー確認が異常なく完了したとき
に「ブローチェック完了」と表
示される。
F
NPM-TT2 EJM1EJ-MB-05O-05
■真空ポンプをONにし、指定ノズル
の真空破壊バルブだけをON/OFFす
るとき
（上に真空破壊のときの圧力が表示され
る）
■真空ポンプをONにし、指定ノズルの
真空バルブだけをON/OFFするとき
（下に真空圧が表示される）
■清掃ブローをON/OFFするとき
（清掃ブローバルブのON/OFFが切り替
わる）
■真空ポンプをON/OFFするとき
（真空ポンプのON/OFFが切り替わる）
ユニット
調整
真空出力確認
(装着ヘッド)
5-2-7
1
バルブの切り替えを行い、真空ポンプやエアブローの動作が正常であることを個々に確認します。
+
1
+
+
+
BA C
A
B
C
操作編
5-2-7
空気流量値
ノズルの空気流量値。
真空・ブロー時の空気流量値の
確認
真空バルブ
真空破壊バルブ
B C
●(P.5-2-6) が8bit換算して表
示される。
：“センサー値” ：“詰り”
B C
● とも行ってください。
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■後工程からの要求信号なしで搬出
するとき
が有効になる。
ユニット
調整
基板の搬送確認
5-2-8
(搬送コンベヤー上に基板があるとき、
位置が表示される)
基板の搬送動作が正常であることを確認します。
●デュアルコンベヤーのときは、事前にレーンを選ぶ。
1
B
+
A
2
+
+
A 1B
2
操作編
5-2-8
基板の長さを選ぶ。
搬送の速度を選ぶ。
(基板が選んだ位置に搬送される)
搬送させる
■設備内に搬入させるとき
■設備外に搬出させるとき
C
C
センサー
D
搬送位置
基板センサーの状態が表示されます。
現在の基板の有り無し状態が表示されます。
D