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NPM- TT2 EJM1EJ-MB-05O-0 5 5-1-2 -14 設定の内容 13 ■高さセンサー 種類 項目 内容 初期値 設定範囲 判定 基板反り勾配許容値 [%] 基板の反り計測を行った際に、高さ計測値か ら得られる勾配がこの設定値を超え た場合に、 シングル停止エラーとなる。 0.5 0.0 ～ 10.0 局所高さ結果範囲許容 値 [mm] 複数箇所の局所高さ計測を行った際に、最小 値と最大値の範囲がこの設定値を超えた場…
NPM-TT2 EJM1EJ-MB-05O-05
ユニット
設定
操作編
5-1-2
5-1-2-13
動作パラメーターの設定 7
設定の内容 12
■ラインカメラ
種類 項目 内容 初期値 設定範囲
判定
認識OK率 [%]
認識結果の良・不良の判定値。
認識結果「ANS」が設定値未満のとき、認識
エラーとなる。
85
0 ～ 100
不良マーク判定率 [%]
不良マーク認識ブロックマッチの判定しきい
値を設定します。設定値以上で正常と判断し
ます。
85
0 ～ 100
■トレイ
種類 項目 内容 初期値 設定範囲
メカ
トレー吸着押さえ代
[mm]
トレイから吸着するとき、設定値を加算し
て吸着する。
0.5
-2.0 ～ 2.0
種類 項目 内容 初期値 設定範囲
タイマー
膜厚形成保持時間 [s] 転写ユニットの膜厚形成保持時間
30
0 ～ 600
転写材料溢れ検出無効
時間 (F) [s]
前側の転写材料を自動供給後、設定した時
間分は漏れ検出を無効とする。
●材料が垂れてから切れるまでの時間を想
定している。
0.5
0.0 ～ 5.0
転写材料溢れ検出無効
時間 (R) [s]
後側の転写材料を自動供給後、設定した時
間分は漏れ検出を無効とする。
●材料が垂れてから切れるまでの時間を想
定している。
0.5
0.0 ～ 5.0
■転写 (2/2)
NPM-TT2 EJM1EJ-MB-05O-05
5-1-2-14
設定の内容 13
■高さセンサー
種類 項目 内容 初期値 設定範囲
判定
基板反り勾配許容値
[%]
基板の反り計測を行った際に、高さ計測値か
ら得られる勾配がこの設定値を超えた場合に、
シングル停止エラーとなる。
0.5
0.0 ～ 10.0
局所高さ結果範囲許容
値[mm]
複数箇所の局所高さ計測を行った際に、最小
値と最大値の範囲がこの設定値を超えた場合
に、シングル停止エラーとなる。
0.5
0.1 ～ 2.0
NPM-TT2 EJM1EJ-MB-05O-05
ユニット
設定
シグナルタワーの設定 １
5-1-3-1
操作編
5-1-3
●さまざまな状況ごとに、表示灯とブザーを設定します。
A
B
●ブザーの状態を選ぶ。
シグナルタワーの設定状態
前後の表が表示される。
A
B
*1)
次に優先度の高い状況の設定が保持されます。
例)
赤ランプの設定が“点滅1”の最中に“無し”の状況に変化した場合、赤ランプは“点滅1”の状態に保持さ
れます。
マシン状態/生産状態/シングル停止/即停止
設定は、[マシン状態]、[生産状態]、[シングル停止]、[即停止]に分かれています。
設備内で複数の“状況”が発生している場合、もっとも優先度の高い項目の設定内容がシグナルタワーの表
示・ブザー状態に反映されます。
●赤/黄/緑の表示灯の状態を選ぶ。
：ブザーは鳴らない
：ブザーが連続で鳴り続ける
：ブザーを鳴らす(1秒間隔)
：ブザーを鳴らす(0.5秒間隔)
：ブザーの状態は変化させない
*1)
：ランプ消灯
：ランプ点灯
：ランプ点滅(1秒間隔)
：ランプ点滅(0.5秒間隔)
：ランプの状態は変化させない
*1)
“No.”: シーケンス番号
“状況”: シグナルを設定する項目