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NPM- TT2 EJM1EJ-MB-04O-0 3 4-2-3 -2 ティーチングの流れ 基板反り計測点データの入力 ティーチングの開始 計測点データの選択 位置の調整 計測テスト データセーブ ティーチングの完了 NPM-DGS で作成
NPM-TT2 EJM1EJ-MB-04O-03
パターン１ パターン2
パターン3 パターン4
4-2-3-1
生産
データ
ティーチ
ング
基板反り計測点ティーチ １
（オプション）
操作編
4-2-3
基板の反りを予測し、それに応じて装着高さを制御する基板反り検出機能があります。この機能は、基
板表面の高さを数点、高さセンサーで測定し、その測定結果から想定する近似曲面を描き、その近似曲
面に合せて装着高さをコントロールします。
基板反りの計測と補正のモードとして、基板/パターンの２つがあります。基板反りモードは、基板の反
り状態によって使い分ける必要があります。
概念図
■反りモード：基板
基板反り計測点
■反りモード：パターン
パターン１ パターン2
パターン3 パターン4
基板反り計測点
●計測ポイントの適正（表面素材、エリア、数、配置）を事前に確認する必要があります。 （→P. 6-1-8)
●事前にNPM-DGSより変更を行う基板データを送ります。 （→P. 2-3-3)
●基板反り計測点ティーチは、基板反り対象の基板データで実施可能です。ソフトスイッチの「基板反り検
出」がONで、基板反り計測点座標が登録されている必要があります。
(→NPM-DGS 4.3.3オプション設定)
●計測点ティーチを行う前に、オプション設定の「高さセンサーによる計測」「基板反り補正」がONになっ
ている必要があります。(→P.5-1-1 オプションの設定)
基板反り計測点について
NPM-TT2 EJM1EJ-MB-04O-03
4-2-3-2
ティーチングの流れ
基板反り計測点データの入力
ティーチングの開始
計測点データの選択
位置の調整
計測テスト
データセーブ
ティーチングの完了
NPM-DGSで作成
NPM-TT2 EJM1EJ-MB-04O-03
4-2-3-3
生産
データ
ティーチ
ング
基板反り計測点ティーチ ２
（オプション）
操作編
4-2-3
2
+
メッセージを確認して
3
1
2
(反りモードがパターンのときのみ
選択可能。)
●パターン番号を設定
4
3
(基板搬入のメッセージを確認し基板
をセット。)
5
5
(基板反り測定点データが表示。)
+
■操作しないとき
1
レーンの選択
( の画面のまま)
1
(基板が搬入され、認識マークの認識を実
施。)
(デュアルレーンのとき。)
ティーチング手順 1
■1点毎に計測し計測点を変更したいとき
へ
3
■全点の計測を行い結果をみたいとき
へ
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