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MODEL TPM-1 10F/R 0108-001 Key No . P AR T No . P AR T NAME Q’ty REMARKS NOTE 31 E-4 30 1 630 094 5058 PULLEY ,TIMING 1 748E--210-301 30 2 630 001 1425 BEARING,RADIAL 2 748E--210-302 30 3 41 1 000 7 102 RING C 10 1 748E-…
MODEL TPM-110F/R
0108-001
30
チャック部 CHUCK SECTION
Fig. E-4 Z 軸駆動部 Z Axis Driver
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See Fig.E-1
Key No.11
See Fig.B-1
Key No.7
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Fig.E-4
TPM-100F/R
TPM-110F/R
MODEL TPM-110F/R
0108-001
Key No. PART No. PART NAME Q’ty REMARKS
NOTE
31
E-4
301 630 094 5058 PULLEY,TIMING 1 748E--210-301
302 630 001 1425 BEARING,RADIAL 2 748E--210-302
303 411 000 7102 RING C 10 1 748E--210-303
304 630 088 3572 COUPLING 1 748E--210-304
305 630 091 2449 MOTOR,STEPPING 1 MPM023, B2084-D21ASM
748E--210-305
306 630 001 1463 BEARING,RADIAL 2 748E--210-306
307 630 094 5034 PULLEY,TIMING 1 748E--210-307
308 630 088 3916 SET COLLAR 1 748E--210-308
309 630 088 3589 COUPLING 1 748E--210-309
310 630 092 8730 MOTOR,AC-SERVO 1 MSVM017, SGMAH-08AAA2C
748E--210-310
311 630 088 5187 BALL SCREW 3 748E--210-311
312 630 013 6241 BEARING,UNIT 6 748E--210-312
313 630 094 5065 PULLEY,TIMING 3 748E--210-313
314 630 092 8044 CLAMP 6 748E--210-314
315 630 088 4937 PULLEY,FLAT (IDLERS) 4 748E--210-315
316 630 096 6602 RING 5 748E--210-316
317 630 088 4081 BEARING,RADIAL 2 748E--210-317
318 630 094 5089 PULLEY,TIMING 1 748E--210-318
319 630 088 3459 BELT,TIMING 1 748E--210-319
320 630 088 5194 BALL SCREW 3 748E--210-320
321 630 094 5041 PULLEY,TIMING 3 748E--210-321
323 630 088 3466 BELT,TIMING 1 748E--210-323
324 630 001 1432 BEARING,RADIAL 4 748E--210-324
325 411 000 7300 RING C 12 2 748E--210-325
326 630 091 3910 MECH PARTS(SET COLLAR) 3 748E--210-326
327 630 088 3954 BUSH,BALL 3 748E--210-327
328 630 102 9818 BRACKET 1 748E--210-328
329 630 087 9049 PULLEY 2 748E--210-329
330 630 090 6325 BOSS 2 748E--210-330
331 630 090 7759 BRACKET 1 748E--210-331
332 630 102 9801 BRACKET 1 748E--210-332
333 630 090 7643 BOSS 1 748E--210-333
334 630 087 9940 BLOCK 3 748E--210-334
335 630 090 7650 BOSS 4 748E--210-335
361 630 000 7626 BOLT,HEX-SCT 2 748E--210-361
362 630 000 7657 BOLT,HEX-SCT 28 748E--210-362
363 411 141 4008 WASHER V 4X9X0.8 6 748E--210-363
364 411 141 2905 WASHER SPR 4 6 748E--210-364
365 630 000 7749 BOLT,HEX-SCT 12 748E--210-365
366 630 000 7770 BOLT,HEX-SCT 24 748E--210-366
367 411 141 4107 WASHER V 5X10X1 24 748E--210-367
368 411 141 6705 WASHER SPR 5 24 748E--210-368
369 630 000 7893 BOLT,HEX-SCT 8 748E--210-369
370 630 000 7909 BOLT,HEX-SCT 2 748E--210-370
371 630 000 7930 BOLT,HEX-SCT 4 748E--210-371
372 411 141 4305 WASHER V 6X12.5X1.6 14 748E--210-372
373 411 141 3001 WASHER SPR 6 14 748E--210-373
MODEL TPM-110F
0108-001
32
チャック部 CHUCK SECTION
Fig. E-5 基板チャック搬送部 P.C.B. Chuck Transfer Section
（手前基準） （Front Reference）
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426
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See Fig.E-3
Key No.223
See Fig.E-3
Key No.222
See Fig.E-1
Key No.14
See Fig.E-1
Key No.20
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Fig.E-5
TPM-110F
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