P-0169-001.pdf - 第34页
MODEL TPM-1 10F 0108-001 32 チャック部 CHUCK SECTION Fig. E-5 基板チャック搬送部 P.C.B. Chuck Transfer Section （手前基準） （ Front Reference ） 464 426 425 See Fig.E-3 Key No.223 See Fig.E-3 Key No.222 See Fig.E-1 Key No.14 See Fig.E-1 Key …
MODEL TPM-110F/R
0108-001
Key No. PART No. PART NAME Q’ty REMARKS
NOTE
31
E-4
301 630 094 5058 PULLEY,TIMING 1 748E--210-301
302 630 001 1425 BEARING,RADIAL 2 748E--210-302
303 411 000 7102 RING C 10 1 748E--210-303
304 630 088 3572 COUPLING 1 748E--210-304
305 630 091 2449 MOTOR,STEPPING 1 MPM023, B2084-D21ASM
748E--210-305
306 630 001 1463 BEARING,RADIAL 2 748E--210-306
307 630 094 5034 PULLEY,TIMING 1 748E--210-307
308 630 088 3916 SET COLLAR 1 748E--210-308
309 630 088 3589 COUPLING 1 748E--210-309
310 630 092 8730 MOTOR,AC-SERVO 1 MSVM017, SGMAH-08AAA2C
748E--210-310
311 630 088 5187 BALL SCREW 3 748E--210-311
312 630 013 6241 BEARING,UNIT 6 748E--210-312
313 630 094 5065 PULLEY,TIMING 3 748E--210-313
314 630 092 8044 CLAMP 6 748E--210-314
315 630 088 4937 PULLEY,FLAT (IDLERS) 4 748E--210-315
316 630 096 6602 RING 5 748E--210-316
317 630 088 4081 BEARING,RADIAL 2 748E--210-317
318 630 094 5089 PULLEY,TIMING 1 748E--210-318
319 630 088 3459 BELT,TIMING 1 748E--210-319
320 630 088 5194 BALL SCREW 3 748E--210-320
321 630 094 5041 PULLEY,TIMING 3 748E--210-321
323 630 088 3466 BELT,TIMING 1 748E--210-323
324 630 001 1432 BEARING,RADIAL 4 748E--210-324
325 411 000 7300 RING C 12 2 748E--210-325
326 630 091 3910 MECH PARTS(SET COLLAR) 3 748E--210-326
327 630 088 3954 BUSH,BALL 3 748E--210-327
328 630 102 9818 BRACKET 1 748E--210-328
329 630 087 9049 PULLEY 2 748E--210-329
330 630 090 6325 BOSS 2 748E--210-330
331 630 090 7759 BRACKET 1 748E--210-331
332 630 102 9801 BRACKET 1 748E--210-332
333 630 090 7643 BOSS 1 748E--210-333
334 630 087 9940 BLOCK 3 748E--210-334
335 630 090 7650 BOSS 4 748E--210-335
361 630 000 7626 BOLT,HEX-SCT 2 748E--210-361
362 630 000 7657 BOLT,HEX-SCT 28 748E--210-362
363 411 141 4008 WASHER V 4X9X0.8 6 748E--210-363
364 411 141 2905 WASHER SPR 4 6 748E--210-364
365 630 000 7749 BOLT,HEX-SCT 12 748E--210-365
366 630 000 7770 BOLT,HEX-SCT 24 748E--210-366
367 411 141 4107 WASHER V 5X10X1 24 748E--210-367
368 411 141 6705 WASHER SPR 5 24 748E--210-368
369 630 000 7893 BOLT,HEX-SCT 8 748E--210-369
370 630 000 7909 BOLT,HEX-SCT 2 748E--210-370
371 630 000 7930 BOLT,HEX-SCT 4 748E--210-371
372 411 141 4305 WASHER V 6X12.5X1.6 14 748E--210-372
373 411 141 3001 WASHER SPR 6 14 748E--210-373
MODEL TPM-110F
0108-001
32
チャック部 CHUCK SECTION
Fig. E-5 基板チャック搬送部 P.C.B. Chuck Transfer Section
（手前基準） （Front Reference）
464
426
425
See Fig.E-3
Key No.223
See Fig.E-3
Key No.222
See Fig.E-1
Key No.14
See Fig.E-1
Key No.20
471
474
462
423
469
468
464
462
401
422
474
464
426
425
427
407
405
477
469
468
466
464
429
464
430
410
435
470
410
432
470
410
435
411
411
410
432
412
413
Fig.E-5
TPM-110F
420
465
465
414
465
432
410
413
412
474
465
420
432
410
411
470
435
410
411
470
435
410
403
403
404
406
477
407
406
477
461
408
428
463
463
467
415
471
471
464
405
477
431
419
421
401
475
424
471
475
416
471
473
472
471
471
471
433
434
418
417
436
MODEL TPM-110F
0108-001
Key No. PART No. PART NAME Q’ty REMARKS
NOTE
33
E-5
401 630 089 2079 SENSOR,PELEC 1 BPH051,B05F 748E--210-401
403 630 088 4029 GUIDE,LINEAR 2 748E--210-403
404 630 003 7241 PIPE FITTINGS 4 748E--210-404
405 630 088 4944 HOOK (POSTS L TYPE) 2 748E--210-405
406 630 088 3596 HOOK 2 748E--210-406
407 630 096 7197 SPRING,TENSION 2 748E--210-407
408 630 088 3626 SENSOR,PHOTO 1 BPH050 748E--210-408
410 630 088 4098 BEARING,RADIAL 8 748E--210-410
411 630 094 5096 GEAR 4 748E--210-411
412 630 069 5373 PULLEY,FLAT 2 748E--210-412
413 630 069 5380 PULLEY,FLAT 4 748E--210-413
414 630 088 4012 BELT,FLAT 2 748E--210-414
415 630 081 7515 PIPE FITTINGS 2 748E--210-415
416 630 087 9599 PLATE 1 748E--210-416
417 630 102 5865 PLATE 1 748E--210-417
418 630 087 9612 PLATE 1 748E--210-418
419 630 102 5858 PLATE 1 748E--210-419
420 630 087 9636 BALL,GUIDE 4 748E--210-420
421 630 087 9643 PLATE 1 748E--210-421
422 630 090 7872 PLATE 1 748E--210-422
423 630 090 7889 PLATE 1 748E--210-423
424 630 087 9735 BLOCK 1 748E--210-424
425 630 090 7674 BOSS 2 748E--210-425
426 630 087 9773 CAP 2 748E--210-426
427 630 090 7797 BRACKET 1 748E--210-427
428 630 087 9780 BRACKET 1 748E--210-428
429 630 087 9797 PLATE 1 748E--210-429
430 630 087 9803 PLATE 1 748E--210-430
431 630 087 9810 PLATE 1 748E--210-431
432 630 087 9834 PULLEY 4 748E--210-432
433 630 087 9896 COVER 1 748E--210-433
434 630 087 9926 BRACKET 1 748E--210-434
435 630 087 9933 COLLAR 4 748E--210-435
436 630 105 4810 COVER 1 748E--210-436
461 411 041 8908 SCR PAN 3X6 2 748E--210-461
462 411 040 7803 SCR PAN 3X12 4 748E--210-462
463 411 147 6808 SCR TRS 3X5 4 748E--210-463
464 630 000 8500 BOLT,HEX-SCT 20 748E--210-464
465 630 000 7527 BOLT,HEX-SCT 8 748E--210-465
466 630 000 7558 BOLT,HEX-SCT 2 748E--210-466
467 630 000 7572 BOLT,HEX-SCT 1 748E--210-467
468 411 141 3902 WASHER V 3X7X0.5 4 748E--210-468
469 411 141 2806 WASHER SPR 3 4 748E--210-469
470 630 000 8920 SET SCREW 8 748E--210-470
471 630 000 7626 BOLT,HEX-SCT 26 748E--210-471
472 411 141 4008 WASHER V 4X9X0.8 2 748E--210-472
473 411 141 2905 WASHER SPR 4 2 748E--210-473
474 630 000 7749 BOLT,HEX-SCT 8 748E--210-474
475 411 118 8503 NUT HEX 5 2 748E--210-475
477 411 140 9905 NUT HEX 3 4 748E--210-477