P-0169-001.pdf - 第35页
MODEL TPM-1 10F 0108-001 Key No . P AR T No . P AR T NAME Q’ty REMARKS NOTE 33 E-5 40 1 630 089 2079 SENSOR,PELEC 1 BPH051,B05F 748E--210-401 40 3 630 088 4029 GUIDE,LINEAR 2 748E--210-403 40 4 630 003 7241 PIPE FITTINGS…
MODEL TPM-110F
0108-001
32
チャック部 CHUCK SECTION
Fig. E-5 基板チャック搬送部 P.C.B. Chuck Transfer Section
（手前基準） （Front Reference）
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426
425
See Fig.E-3
Key No.223
See Fig.E-3
Key No.222
See Fig.E-1
Key No.14
See Fig.E-1
Key No.20
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Fig.E-5
TPM-110F
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MODEL TPM-110F
0108-001
Key No. PART No. PART NAME Q’ty REMARKS
NOTE
33
E-5
401 630 089 2079 SENSOR,PELEC 1 BPH051,B05F 748E--210-401
403 630 088 4029 GUIDE,LINEAR 2 748E--210-403
404 630 003 7241 PIPE FITTINGS 4 748E--210-404
405 630 088 4944 HOOK (POSTS L TYPE) 2 748E--210-405
406 630 088 3596 HOOK 2 748E--210-406
407 630 096 7197 SPRING,TENSION 2 748E--210-407
408 630 088 3626 SENSOR,PHOTO 1 BPH050 748E--210-408
410 630 088 4098 BEARING,RADIAL 8 748E--210-410
411 630 094 5096 GEAR 4 748E--210-411
412 630 069 5373 PULLEY,FLAT 2 748E--210-412
413 630 069 5380 PULLEY,FLAT 4 748E--210-413
414 630 088 4012 BELT,FLAT 2 748E--210-414
415 630 081 7515 PIPE FITTINGS 2 748E--210-415
416 630 087 9599 PLATE 1 748E--210-416
417 630 102 5865 PLATE 1 748E--210-417
418 630 087 9612 PLATE 1 748E--210-418
419 630 102 5858 PLATE 1 748E--210-419
420 630 087 9636 BALL,GUIDE 4 748E--210-420
421 630 087 9643 PLATE 1 748E--210-421
422 630 090 7872 PLATE 1 748E--210-422
423 630 090 7889 PLATE 1 748E--210-423
424 630 087 9735 BLOCK 1 748E--210-424
425 630 090 7674 BOSS 2 748E--210-425
426 630 087 9773 CAP 2 748E--210-426
427 630 090 7797 BRACKET 1 748E--210-427
428 630 087 9780 BRACKET 1 748E--210-428
429 630 087 9797 PLATE 1 748E--210-429
430 630 087 9803 PLATE 1 748E--210-430
431 630 087 9810 PLATE 1 748E--210-431
432 630 087 9834 PULLEY 4 748E--210-432
433 630 087 9896 COVER 1 748E--210-433
434 630 087 9926 BRACKET 1 748E--210-434
435 630 087 9933 COLLAR 4 748E--210-435
436 630 105 4810 COVER 1 748E--210-436
461 411 041 8908 SCR PAN 3X6 2 748E--210-461
462 411 040 7803 SCR PAN 3X12 4 748E--210-462
463 411 147 6808 SCR TRS 3X5 4 748E--210-463
464 630 000 8500 BOLT,HEX-SCT 20 748E--210-464
465 630 000 7527 BOLT,HEX-SCT 8 748E--210-465
466 630 000 7558 BOLT,HEX-SCT 2 748E--210-466
467 630 000 7572 BOLT,HEX-SCT 1 748E--210-467
468 411 141 3902 WASHER V 3X7X0.5 4 748E--210-468
469 411 141 2806 WASHER SPR 3 4 748E--210-469
470 630 000 8920 SET SCREW 8 748E--210-470
471 630 000 7626 BOLT,HEX-SCT 26 748E--210-471
472 411 141 4008 WASHER V 4X9X0.8 2 748E--210-472
473 411 141 2905 WASHER SPR 4 2 748E--210-473
474 630 000 7749 BOLT,HEX-SCT 8 748E--210-474
475 411 118 8503 NUT HEX 5 2 748E--210-475
477 411 140 9905 NUT HEX 3 4 748E--210-477
MODEL TPM-110R
0108-001
34
チャック部 CHUCK SECTION
Fig. E-5 基板チャック搬送部 P.C.B. Chuck Transfer Section
（奥基準） （Rear Reference）
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470
See Fig.E-1
Key No.20
See Fig.E-3
Key No.223
See Fig.E-3
Key No.222
See Fig.E-1
Key No.14
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Fig.E-5
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