KE-2050_机器控制参数.pdf - 第100页

R e v 1 . 0 0 机械控制参数 4-4-6 共面性装置的设定 图 4-4-6 共面性装置的设定 (1) 设定画面的显示方法 菜单∶ [ 输入 ]→[ 图像 ]→[ 共面 ]→[ 装置设定 ] 起动∶ [ 图像 ] 按键 →[ 共面 ] 标签 →[ 装置设定 ] 按键 (2) 设定项目 输入范围 № 项目 最小值 最大值 单 位 备考 1 共面装置设置方向 ° 0,90,180,270 2 共面装置扫描方向 0:Y+,1:Y-,…

100%1 / 151
Rev1.00
机械控制参数
4-4-5 分割识别间距（BGA）
图 4-4-5 分割识别间距（BGA）
(1)设定画面的显示方法
菜单∶ [输入]→[图像]→[分割识别]→[间距（BGA）]
起动∶ [图像]按键→[分割识别]标签→[间距（BGA）]按键
(2)设定项目
输入范围
№ 项目
最小值 大值
备考
最
单
位
1 模式 0 3 6 参照(3)模式
2 Ｘ间距
0.1
μm
3
0.1
Ｙ间距
μm
4
分割识别间距
GA)
μm
(B
Ｚ间距
0.1
(3)图案
№ 类别 内 容
1 0 54.0mm 视野(标准)
2 1 37.5mm 视野(选购品 1)
3 2 27.0mm 视野(选购品 2)
4 3 18.0mm 视野(选购品 3)
5 4 27.0mm 视野(选购品/高分辨率)
6 5∼63 预备
4-54
Rev1.00
机械控制参数
4-4-6 共面性装置的设定
图 4-4-6 共面性装置的设定
(1)设定画面的显示方法
菜单∶ [输入]→[图像]→[共面]→[装置设定]
起动∶ [图像]按键→[共面]标签→[装置设定]按键
(2)设定项目
输入范围
№ 项目
最小值 最大值
单
位
备考
1 共面装置设置方向 ° 0,90,180,270
2 共面装置扫描方向
0:Y+,1:Y-,2:X+,3:
X-
根据设置方向
0° :0(Y+),
90° :3(X-),
180°:1(Y-),
270°:2(X+)
3
共面装置分割方向
0:Y+,1:Y-,2:X+,3:
X-
根据设置方向
0° :2(X+),
90° :1(Y-),
180°:3(X-),
270°:0(Y+)
4 测量方式
标准测定方式,
高精度测定方式
4-55
Rev1.00
机械控制参数
输入范围
项目
最小 值
单
备考 №
值 最大
位
5 軸加速距離
μm
初期值
度测定方式
0.1
标准测定方式
:30000(3mm),
高精
:5000(0.5mm)
6
轴速度静止距离
(加速距离通过后速度稳定
的距离)
0.1
μm
式
初期值
标准测定方式
:20000(2mm),
高精度测定方
:45000(4.5mm)
7
标准测定方式、
高精度测定方式
Ｘ分割数的最大元件外形尺
寸
0.1
μm
值
0° :260000,
500000,0,0
0,
0,0,0
80°:260000,
00000,0,0
,0
500000,0,0
270
°:500000,0,0,0
初期
标准测定方式
90° :100000
1
5
270°:1000000,
0,0,0
高精度测定方式
0° :260000,
500000,0,0
90° :500000,0,0
180°:260000,
4-56