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R e v 1 . 0 0 机械控制参数 № 类别 内 容 11 255 插座 4-52

Rev1.00
机械控制参数
(3)图案
№ 类别 内 容
1 0 反射照明・全体识别
2 1 反射照明・纵 2(1×2)分割
3 2 反射照明・横 2(2×1)分割
4 3(1×3)分割 3 反射照明・纵
5 4 反射照明・纵 2 横 2(2×2)分割
6 5 反射照明・横 3(3×1)分割
7 6 透过照明・全体识别
8 7 透过照明・纵 2(1×2)分割
9 8 透过照明・纵 3(1×3)分割
1 9 侧照明・全体识0 别
11 10 侧照明・纵 2(1×2)分割
1 11 侧照明・纵 3(1 割 2 ×3)分
13 12 侧照明・纵 2 横 分割 2(2×2)
14 13 侧照明・横 2(2×1)分割
15 1 3(3×1) 4 侧照明・横 分割
16 1 ・全体识别+Z分割 5 侧照明
1 16 侧照明・纵 2(1 +Z分割 7 ×2)分割
18 17 侧照明・纵 3(1×3)分割+Z分割
19 18 侧照明・纵 2 横 2(2×2)分割+Z分割
20 19 侧照明・横 2(2×1)分割+Z分割
21 +Z分割 20 侧照明・横 3(3×1)分割
22
21 ∼
255
预备
(4 明 型
别 内 容
)照 类
№ 类
1 0 反射照明
2 1 透过照明
3 2 侧照明
4 255 插座
(5)照明形式
№ 类别 内 容
1 0 反射照明(标准)
2 1 反射照明(CBGA)
3 2 反射照明(LGA)
4 16 透过照明(纵偶数分割)
5 17 透过照明(全体/纵奇数分割)(GX-5 未使用)
6 18 透過照明(小元件用)
7 32 侧照明(红,无气缸控制)
8 33 侧照明(红,有气缸控制)(GX-5 未使用)
9 48 侧照明(蓝,无气缸控制)
10 49 侧照明(蓝,有气缸控制)(GX-5 未使用)
4-51

Rev1.00
机械控制参数
№ 类别 内 容
11 255 插座
4-52

Rev1.00
机械控制参数
4-4-4 分割识别间距
图 4-4-4 分割识别间距
(1)设定画面的显示方法
菜单∶ [输入]→[图像]→[分割识别]→[间距]
起动∶ [图像]按键→[分
(2)设定项目
输入范围
割识别]标签→[间距]按键
№ 项目
最小值 最大值
单
位
备考
1 模式 0 63 参照(3)模式
2 X间距
0.1
μm
3 Y间距
0.1
μm
4
分割识别间距
Z间距
0.1
μm
(3)图案
№ 类别 内 容
1 0 54.0mm 视野(标准)
2 1 37.5mm 视野(选购品 1)
3 2 27.0mm 视野(选购品 2)
4 3 18.0mm 视野(选购品 3)
5 4 27.0mm 视野(选购品/高分辨率)
6 5∼63 预备
4-53