KE-2050_机器控制参数.pdf - 第98页

R e v 1 . 0 0 机械控制参数 4-4-4 分割识别间距 图 4-4-4 分割识别间距 (1) 设定画面的显示方法 菜单∶ [ 输入 ]→[ 图像 ]→[ 分割识别 ]→[ 间距 ] 起动∶ [ 图像 ] 按键 →[ 分 (2) 设定项目 输入范围 割识别 ] 标签 →[ 间距 ] 按键 № 项目 最小值 最大值 单 位 备考 1 模式 0 63 参照 (3) 模式 2 X 间距 0.1 μm 3 Y 间距 0.1 μm 4 …

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Rev1.00
机械控制参数
类别
11 255 插座
4-52
Rev1.00
机械控制参数
4-4-4 分割识别间距
4-4-4 分割识别间距
(1)设定画面的显示方法
菜单∶ [输入]→[图像]→[分割识别]→[间距]
起动∶ [图像]按键→[
(2)设定项目
输入范围
割识别]标签→[间距]按键
项目
最小值 最大值
备考
1 模式 0 63 参照(3)模式
2 间距
0.1
μm
3 间距
0.1
μm
4
分割识别间距
间距
0.1
μm
(3)图案
类别
1 0 54.0mm 视野(标准)
2 1 37.5mm 视野(选购品 1)
3 2 27.0mm 视野(选购品 2)
4 3 18.0mm 视野(选购品 3)
5 4 27.0mm 视野(选购品/高分辨率)
6 5∼63 预备
4-53
Rev1.00
机械控制参数
4-4-5 分割识别间距(BGA)
4-4-5 分割识别间距(BGA)
(1)设定画面的显示方法
菜单∶ [输入]→[图像]→[分割识别]→[间距(BGA)]
起动∶ [图像]按键→[分割识别]标签→[间距(BGA)]按键
(2)设定项目
输入范围
项目
最小值 大值
备考
1 模式 0 3 6 参照(3)模式
2 间距
0.1
μm
3
0.1
间距
μm
4
分割识别间距
GA)
μm
(B
间距
0.1
(3)图案
类别
1 0 54.0mm 视野(标准)
2 1 37.5mm 视野(选购品 1)
3 2 27.0mm 视野(选购品 2)
4 3 18.0mm 视野(选购品 3)
5 4 27.0mm 视野(选购品/高分辨率)
6 5∼63 预备
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