KE-2050_机器控制参数.pdf - 第137页
R e v 1 . 0 0 机械控制参数 4-5-15 其他 ( 停电时设定 ) 图 4-5-15 停电时设定 (1) 设 面 [ 设定 ] 起动∶ [ 其它 ] 按键 →[ 其它 ] 标签 →[ 停电时设定 ] 按键 设定项目 输入范围 定画 的显示方法 菜单∶ 输入 ]→[ 其它 ]→[ 其它 ]→[ 停电时 (2) № 最小值 最大值 单 位 备考 项目 1 自动保存等待时间 0 65535 s 初期值 :30 2 停电时设定 0…

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机械控制参数
(2)设定项目
输入范围
№ 项目
最小值 最大值
单
位
备考
1 标准 VCS ms
初期值:20
XY 轴 100
2
Z 轴移动到 VCS 识
别高度后到开始摄
像的时间
选购 VCS(高分辨率摄像机) ms
初期值:20
XY 轴 100
3 BOC 标记 ms 初期值:200
4 受托标记 ms 初期值:200
5 料库标记 ms 初期值:200
6
移动到标记识别位
置后到开始摄像的
时间
MTS 标记 ms 初期值:200
7
XY 轴开始移动后到 SWEEP
开始的时间
ms 初期值:0
8
XY 轴开始移动后到 ONCE
开始的时间
ms
初期值:0
实际,连续实行
ONCE(试验处理
等)时的待机时
间
9
移动到坏标记位置后到检
测标记(传感器读取)的时间
ms 初期值:70
10 MTC 元件检索时间(s) s 初期值:180
11 芯片跳起检测的准备时间 ms 初期值:10
12
VCS 照明装置变换动作待
ms 初期值:0
机时间
13 实施真空的暂停时间 (s) s
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机械控制参数
4-5-15 其他(停电时设定)
图 4-5-15 停电时设定
(1)设 面
[ 设定]
起动∶ [其它]按键→[其它]标签→[停电时设定]按键
设定项目
输入范围
定画 的显示方法
菜单∶ 输入]→[其它]→[其它]→[停电时
(2)
№
最小值 最大值
单
位
备考 项目
1 自动保存等待时间 0 65535 s 初期值:30
2
停电时设定
0 65535 s 初期值:300 关机等待时间
4-92

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机械控制参数
4-5-16 激光信息的设定)
其他(
图 4-5-16 激光信息的设定
(1)设定画面的显示方法
菜单∶ [输入]→[其它]→[其它]→[激光信息]
起动∶ [其它]按键→[其它]标签→[激光信息]按键
(2)设定项目
输入范围
№ 项目
最小
值
最大
值
单
位
备考
1 MNLA 边界值 初期值:0.06
2
激光信息
(判定激光脏污用)
FMLA 边界值 初期值:0.08
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