FX-3RA-Rev05.pdf - 第172页
- 16 5 - 8 3 .SY S TE M DI AG RA M (S ER V O MOT O R) ＳＹＳＴＥＭ ＤＩＡＧＲＡＭ（ＳＥＲＶＯ ＭＯＴＯＲ） 1- 4C CNP3 CN2 CN 2L 1 -4C (LF) F G-TAP S SCN ET 1CH PO SIT ION BO ARD( 1) S SCN ET 2C H DI 1C H DI 2C H S SCN ET 1CH P OSIT ION BOA RD( 2…
- 164 -
NOTE( 注記 ) #01....FOR EN ＥＮ 用
#02....FOR 200V ２００Ｖ 用
#03....FOR 400V ４００Ｖ 用
#04....TYPE XL ＸＬ仕様
REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1 400-82365 POWER ON LAMP RE LA Y CABLE ASM パワーオンランプ中継ケーブル組 1
2 400-82363 NFB OUTP UT CABLE ASM ＮＦＢ 出力ケーブル組 1
3 400-82372 NF FG CA B LE ASM ＮＦ ＦＧ ケーブル組 1
4 #02 L800E-821-0A0 POWER ON LAMP 200V CABLE ASM パワーオンランプ ２００ Ｖ 束線組 1
5
#03
L804E-921-0A0 POWER ON LAMP 400V CABLE ASM
パワーオンランプ ４００ Ｖ 束線組
1
6 401-23831 NF OUTPUT C ABLE(TB1)ASM
ＮＦ 出力ケーブル（ＴＢ １）組
1
7 401-23829 AC PWR IN UNIT FG CABLE ASM
ＡＣ 入力ユニット ＦＧ ケーブル組
1
8 401-23830 AC PWR IN UNIT OUTPUT CABLE ASM
ＡＣ 入力ユニットアウトケーブル組
1
9 401-22663 AC POWER INPUT U NIT
ＡＣ 入力ユニット
1
10 401-22814 TRANSFORMER
トランス
1
11 401-23427 TF FG CABLE ASM
ＴＦ ＦＧ ケーブル組
1
12 400-89963 MAIN SW CABLE ASM
メイン ＳＷ ケーブル組
1
13 400-94021 TFL 220VOUT CABLE ASM
Ｌ トランス ２２０ Ｖ 出力ケーブル組
1
14 400-91880 XY DRIVER U(L) INPUT CABLE ASM ＸＹ ドライバユニット Ｌ 入力ケーブル組 1
15 400-47964 VACUUM PUMP TERMINAL CABLE ASM バキュームポンプ ターミナルケーブル組 1
16 400-47992 VACUUM PUMP TH-MC CABLE ASM バキュームポンプ ＴＨ − ＭＣ カンケーブル組 1
17 400-47965 VACUUM PUMP POWER CABLE ASM バキュームポンプ電源ケーブル組 1
18 400-48244 VACUUM PUMP FG CABLE ASM バキュームポンプ ＦＧ ケーブル組 1
19 400-63490 VACUUM_PUMP
真空ポンプ
1
20 400-91882 XY DRV PWR CABLE(L)ASM
ＸＹ ＤＲＶ 電源ケーブル（Ｌ）組
1
21 400-91901 TF 100V OUTPUT CABLE L ASM
ＴＦ １００ Ｖ 出力ケーブル Ｌ 組
1
22 401-23245 XY_DRIVER_UNIT(RA_ST)
ＸＹ ドライバ組（ＲＡ ＿ ＳＴ）
1
23
#01
401-04747 XY_DRIVER_UNIT(EN)
ＸＹ ドライバ組（ＥＮ）
1
24 400-82362 VACUUM I/O CABLE ASM
バキューム Ｉ ／ Ｏ ケーブル組
1
25 400-91920 XY DRV I/O CABLE ASM
ＸＹ ＤＲＶ Ｉ ／ Ｏ ケーブル組
1
26 400-91918 XY-RELAY I/O CABLE ASM
ＸＹ − ＲＥＬＡＹ Ｉ ／ Ｏ ケーブル組
1
27 401-19361 XY-RELAY PCB ASM
ＸＹ − ＲＥＬＡＹ 基板組
1
28 #01 400-48248 XY DRV PWR CABLE (L) ASM (EN) ＸＹ ＤＲＶ 電源ケーブル（Ｌ）組（ＥＮ） 1
29 400-47885 XY-RELAY PWR CABLE (L) ASM ＸＹ − ＲＥＬＡＹ 電源ケーブル（Ｌ）組 1
30 401-23596 POWER_SUPPLY_ASSY_RA-L(ST) 電源供給組 ＲＡ（左）ＳＴ 1
31 #01 401-23599 POWER SUPPLY ASSY L(EN) 電源供給組（左）ＥＮ 1
32 400-92440 BASIC FAN ASM ファン組 1
33 400-47702 CTRL UNIT FAN ASM
コントロールユニットファンモータ組
1
34 400-65393 BASE FAN SL ASM
ベースファン ＳＬ 組
1
35 4 00-8 9900 C OVE R TOP FA N YL CABL E A SM XL
カバートップファン ＹＬ ケーブル組 ＸＬ
1
36 400-89881 COVER TOP FAN L RELAY CABLE ASM XL
カバートップファン Ｌ 中継ケーブル組 ＸＬ
1
37 401-19170 COVER TOP FAN XL RLY CABLE ASM
カバートップファン（ＸＬ）リレーケーブル組
1
38 400-47758 CONTROL UNIT TOP FAN RELAY CABLE ASM
コントロールユニットトップファン中継ケーブル組
1
39 400-47760 BASE FAN L RELAY CABLE ASM
ベースファン Ｌ 中継ケーブル組
1
40 400-65394 BASE FAN SL RELAY CABLE ASM
ベースファン ＳＬ 中継ケーブル組
1
41 400-48238 COVER TOP FAN LF/LR RELAY CABLE ASM
カバートップファン ＬＦ ／ ＬＲ 中継ケーブル組
1
42 400-65396 COVER TOP FAN YL RELAY CABLE ASM
カバートップファン ＹＬ 中継ケーブル組
1
43 401-20142 AWC_BU PWR CABLE(L) ASM ＡＷＣ ＿ ＢＵ 電源ケーブル（Ｌ）組 1
44 #01 400-89946 AWC DRV PWR CABLE (L) ASM (EN) ＡＷＣ ドライバ電源ケーブル（Ｌ）組（ＥＮ） 1
45 400-47853 AWC DRV FG CABLE (L) ASM ＡＷＣ ドライバ ＦＧ ケーブル（Ｌ）組 1
46 #01 400-47854 AWC DRV FG CABLE (L) ASM (EN) ＡＷＣ ドライバ ＦＧ ケーブル（Ｌ）組（ＥＮ） 1
47 400-89882 COVER TOP FAN R RELAY CABLE ASM XL
カバートップファン Ｒ 中継ケーブル組 ＸＬ
1
48
#01
400-89947 BU DRV PWR CABLE (L) ASM (EN)
ＢＵ ドライバ電源ケーブル (L) 組（ＥＮ）
1
49 400-47855 BU DRV FG CABLE (L) ASM
ＢＵ ドライバ ＦＧ ケーブル（Ｌ）組
1
50
#01
400-48756 TRAY GUIDE L
トレイガイド Ｌ
1
51 400-91466 ATX PWR RLY CABLE ASM
ＡＴＸ 電源中継ケーブル組
1
52 400-47893 ATX PWR CABLE ASM
ＡＴＸ 電源ケーブル組
1
53 401-23068 HOURMETER RELAY CABLE ASM
アワーメータ中継ケーブル組
1
54 401-20202 CPCI POWER CABLE ASM
ＣＰＣＩ パワーケーブル組
1
55 400-47703 ATX CTRL CABLE ASM
ＡＴＸ コントロールケーブル組
1
56 400-91904 POWER UNIT GND CONECTION CABLE ASM
電源ユニット ＧＮＤ 接続ケーブル組
1
57 401-19172 COVER TOP FAN XR RLY CABLE ASM カバートップファン（ＸＲ）リレーケーブル組 1
58 400-92738 XY DRIVER U (R) INPUT CABLE ASM ＸＹ ドライバ Ｒ 入力ケーブル組 1
59 400-91883 XY DRV PWR CABLE (R) ASM ＸＹ ＤＲＶ 電源ケーブル（Ｒ）組 1
60 400-92734 TF 100V OUTPUT CABLE R ASM ＴＦ １００ Ｖ 出力ケーブル Ｒ 組 1
61 400-65399 BASE FAN SR ASM
ベースファン ＳＲ 組
1
62 400-47765 BASE FAN CR ASM
ベースファン ＣＲ 組
1
63 400-89901 COVER TOP FAN YR CABLE ASM XL
カバートップファン ＹＲ ケーブル組 ＸＬ
1
64 400-47762 BASE FAN R RELAY CABLE ASM
ベースファン Ｒ 中継ケーブル組
1
65 400-65400 BASE FAN SR RELAY CABLE ASM
ベースファン ＳＲ 中継ケーブル組
1
66
#01
400-91467 XY DRV PWR CABLE (R) ASM (EN)
ＸＹ ＤＲＶ 電源ケーブル（Ｒ）組（ＥＮ）
1
67 401-23602 POWER_SUPPLY_ASSY_RA-R(ST)
電源供給組 ＲＡ（右）ＳＴ
1
68
#01
401-23603 POWER SUPPLY ASSY R(EN)
電源供給組（右）ＥＮ
1
69 401-20143 AWC_BU PWR CABLE(R) ASM
ＡＷＣ ＿ ＢＵ 電源ケーブル（Ｒ）組
1
70
#01
400-89948 AWC DRV PWR CABLE (R) ASM (EN)
ＡＷＣ ドライバ電源ケーブル（Ｌ）組（ＥＮ）
1
71 400-47857 AWC DRV FG CABLE (R) ASM ＡＷＣ ドライバ ＦＧ ケーブル（Ｒ）組 1
72 #01 400-47858 AWC DRV FG CABLE (R) ASM (EN) ＡＷＣ ドライバ ＦＧ ケーブル（Ｒ）組（ＥＮ） 1
73 400-47766 BASE FAN CR RELAY CABLE ASM ベースファン ＣＲ 中継ケーブル組 1
74 #01 400-89949 BU DRV PWR CABLE (R) ASM (EN) ＢＵ ドライバ電源ケーブル（Ｒ）組（ＥＮ） 1
75 400-47859 BU DRV FG CABLE (R) ASM
ＢＵ ドライバ ＦＧ ケーブル（Ｒ）組
1
76
#01
400-47860 BU DRV FG CABLE (R) ASM (EN)
ＢＵ ドライバ ＦＧ ケーブル（Ｒ）組（ＥＮ）
1
77 400-91465 BASE FAN CL RELAY CABLE ASM
ベースファン ＣＬ 中継ケーブル組
1
78 400-47763 BASE FAN CL ASM
ベースファン ＣＬ 組
1
79 400-48239 COVER TOP FAN FR/RR RELAY CABLE ASM
カバートップファン ＦＲ ／ ＲＲ 中継ケーブル組
1
80 400-65402 COVER TOP FAN YR RELAY CABLE ASM
カバートップファン ＹＲ 中継ケーブル組
1
81 400-02115 HOURMETER ASM
アワーメータ組
1
82 401-19300 COVER TOP FAN XL CABLE ASM
カバートップファン（ＸＬ）ケーブル組
1
83 401-19301 COVER TOP FAN XR CABLE ASM
カバートップファン（ＸＲ）ケーブル組
1
84 400-65163 FRAME FAN LF CABLE ASM
フレームファン ＬＦ ケーブル組
1
85 401-23109 Y BEAR A CABLES(MS) ASM Ｙ ベアケーブル（ＭＳ）Ａ 組 1
86 #04 400-89838 Y BEAR A CABLES ASM XL Ｙ ベアケーブル Ａ 組 ＸＬ 1
87 401-52310 Y FRAME END FAN RELAY CABLE A ASM Ｙ フレームエンドファン中継ケーブル Ａ 組 1
88 401-52307 Y FRAME END FAN CABLE A ASM Ｙ フレームエンドファンケーブル Ａ 組 1
89 401-52309 Y FRAME END FAN CABLE C ASM
Ｙ フレームエンドファンケーブル Ｃ 組
1
90 400-65164 FRAME FAN LR CABLE ASM
フレームファン ＬＲ ケーブル組
1
91 401-23110 Y BEAR B CABLES(MS) ASM
Ｙ ベアケーブル（ＭＳ）Ｂ 組
1
92
#04
400-89839 Y BEAR B CABLES ASM XL
Ｙ ベアケーブル Ｂ 組 ＸＬ
1
93 401-52311 Y FRAME END FAN RELAY CABLE B ASM
Ｙ フレームエンドファン中継ケーブル Ｂ 組
1
94 400-65166 FRAME FAN RR CABLE ASM
フレームファン ＲＲ ケーブル組
1
95 400-65165 FRAME FAN RF CABLE ASM
フレームファン ＲＦ ケーブル組
1
- 165 -
83.SYSTEM DIAGRAM (SERVO MOTOR)
ＳＹＳＴＥＭ ＤＩＡＧＲＡＭ（ＳＥＲＶＯ ＭＯＴＯＲ）
1- 4C
CNP3
CN2
CN2L
1 -4C
(LF)FG-TAP
SSCNET
1CH
POSITION
BOARD(1)
SSCNET
2CH
DI
1C H
DI
2CH
SSCNET
1CH
POSITION
BOARD(2)
SSCNET
2CH
DI
1CH
DI
2CH
1C H
POS2
POS2
2CH
XY
CN 8
CN13
XY
2-1B
CN13
CN8
3-1A
XY-RELAY PCB
CN1A
CN1B
CNP3
CN 2
CN2L
AMP YL(RF)
LINEAR SERVO
CN2L
CN2
CNP3
CN1BCN1A
AMP X(RF)
LINEAR SERVO
POS1
2CH
1CH
POS1
XY
CN11
XY
CN10
2-1D
CN10
CN11
XY-RELAY PCB
1-5A
LINEAR SERVO
AMP YL(LF)
CN1A
CN1B
CNP3
CN2
CN2L
LINEAR SERVO
AMP X(LF)
CN1A
CN1B
CNP3
CN2
CN2L
CNP3
CN2
CN2L
X-LF
CN247
XLF
CN811
X
LM G
LM-X
CN812
CN176(X)
SCALE
HEAD
X(LF)
LM G
LINEAR
SERVO
MOTOR
X(LF)
CNP3
CN2
CN2L
YL-LF CN803
FG-TAP(LF)
CN151
YL-LF
CN133(YL)
CN804
LM-Y
CN154
LM-G
Y
CN141(YL)
SCALE
HEAD
YL(LF)
LINEAR
SERVO
MOTOR
YL(LF)
CN175(X)
XRF
CN811
FG-TAP(RF)
CN247
X-RF
CN175(X)
CN812
LM G
LM-X
X
CN176(X)
SCALE
HEAD
X(RF)
LM G
CNP3
CN2
CN2L
CN134(YL)
YL-RF
CN151
FG-TAP(RF)
YL-RF
CN805
CN152
CN142(YL)
LM-G
Y
SCALE
HEAD
YL(RF)
LM-G
LM-Y
CN806
LINEAR
SERVO
MOTOR
YL(RF)
LINEAR
SERVO
MOTOR
X(RF)
LINEAR SERVO
AMP X(LR)
CN 1A
CN1B
CNP3
CN 2
CN2L
LINEAR SERVO
AMP YR(LF)
CN1A
CN1B
CNP3
CN 2
CN2L
CNP3
CN 2
CN2L
YR-LF
FG-TAP(LF)
YL-LF
CN134(YR)
CN801
CN151
CN152
Y
CN142(YR)
SCALE
HEAD
YR(LF)
LM-G
LM-Y
CN802
LINEAR
SERVO
MOTOR
YR(LF)
SCALE
HEAD
X(LR)
CN176(X)
CN175(X)
11
22322564
78
9
7
8
9
11
10
12
13
14
16
17
18
50
15
20
19
29
8
10
30
34
33
31
32
35
12
13
38
10
26
27
55
56
20
15
36
37
18
50
10
57
45 46
58
59
26
27
38
48
34
CN2L
CN2L
LR-X
LRCNP3
X
X LR CN811
FG-TAP(LR)
CN247
X-LR
LM G
X
LM X
CN812
Cable Bear
LM G
SERVO AMP
Z
(LF-3)
CN1B
4-2B
CN1A
LINEAR
SERVO
MOTOR
X(LR)
SERVO AMP
Z
(LF-2)
CN1B
4-1A
CN1A
SERVO AMP
Z
(LF-1)
CN1A CN1B
4-1A
LINEAR SERVO
AMP YL(LR)
CN1A
CN1B
CNP3
CN2
CN2L
CNP3
CN2
CN2L
YL-LF
CN134(YL)
CN151
YL-LR
CN805
FG-TAP(LR)
Y
CN152
CN142(YL)
SCALE
HEAD
YL(LR)
CN806
LM-Y
CN154LM-G
LINEAR
SERVO
MOTOR
YL(LR)
LINEAR SERVO
AMP YR(LR)
CN1A CN1B
CNP3
CN2
CN2L
Cable Bear
CNP3
CN2
CN2L YR-LR
CN133(YR)
CN151
YR-LR CN807
FG-TAP(LR)
CN141(YR)
Y
CN154
LM-Y
CN808
LM-G
SCALE
HEAD
YR(LR)
SERVO AMP
Z
(LR-1)
CN1A CN1B
4-3A
LINEAR
SERVO
MOTOR
YR(LR)
SERVO AMP
Z
(LR-2)
CN1A
CN1B
4-4A
SERVO AMP
Z
(LR-3)
CN1A
CN1B
4-4A
LINEAR SERVO
AMP X(RR)
CN1A
CN1B
CNP3
CN2
CN2L
X
RRCNP3
RR-X
CN2L
CN2L
XRR
CN811
FG-TAP(RR)
CN247
X-RR
CN175(X)
Cable Bear
CN812
LM X
LM G
X
CN176(X)
SCALE
HEAD
X(RR)
LM G
SERVO AMP
Z
(RF-1)
CN1A
CN1B
4-1C
LINEAR
SERVO
MOTOR
X(RR)
SERVO AMP
Z
(RF-2)
CN1A
CN1B
4-1C
SERVO AMP
Z
(RF-3)
CN1A CN1B
4-2C
LINEAR SERVO
AMP YR(RF)
CN1A
CN1B
CNP3
CN2
CN2L
CNP3
CN2
CN2L
YR-RF CN807
CN151
YR-RF
CN133(YR)
FG-TAP(RF)
CN808
CN154
LM-Y
LM-G
Y
CN141(YR)
SCALE
HEAD
YR(RF)
LM-G
LINEAR
SERVO
MOTOR
YR(RF)
LINEAR SERVO
AMP YL(RR)
CN1A
CN1B
CNP3
CN2
CN2L
CNP3
CN2
CN2L
YL-RR
CN803
CN151
YL-RR
CN133(YL)
CN804
CN154
LM-G
Y
CN141(YL)
FG-TAP(RR)
LM-Y
SCALE
HEAD
YL(RR)
LM-G
LINEAR
SERVO
MOTOR
YL(RR)
LINEAR SERVO
AMP YR(RR)
CN1A CN1B
CNP3
CN 2
CN2L
Cable Bear
CNP3
CN2
CN2L
YR-RR CN801
CN151
YR-RR
CN134(YR)
FG-TAP(RR)
CN152
LM-G
CN142(YR)
Y
SCALE
HEAD
YR(RR)
LM-G
CN802 LM-Y
SERVO AMP
Z
(RR-1)
CN1A CN1B
4-3C
LINEAR
SERVO
MOTOR
YR(RR)
SERVO AMP
Z
(RR-2)
CN1A CN1B
4-4C
SERVO AMP
Z
(RR-3)
CN1A CN1B
4-4C
7
7
8
21
24 25
26
27
28
40
18
50
19
29
15
10
39
31
32
33
41
12
13
38
42
34
22
20
22
22
10
10
8
8
22
22
22
10
10
34
38
53
47 54
26
27
52
45
46
21
34
10
43
44
45
46
47
49
26
27
38
48
22
22
22
10
10
22
22
22
10
10
21
23
51
31
32
34
8
67
69
12
13
38
42
60
61
12
13
62
63
18
50
15
20
19
29
10
8
64
45
46
34
65
58
26
27
38
53
10
66
31
32
34
67
68
12
13
53
38
NOTE1
PARTS NUMBER FOR EN:( )
PARTS NUMBER FOR XL:[ ]
PARTS NUMBER FOR XL-EN:([ ])
19 29
- 166 -
NOTE( 注記 ) #01....TYPE XL ＸＬ 仕様
REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1 400-44540 16AXIS 2CH SERVO CONTROLLER
１６軸 ２ ＣＨ ポジションボード
1
2 400-48069 OPTICAL FIBER CABLE 1.2M
光ファイバケーブル１．２ Ｍ
1
3 400-91987 POS BOARD 1 1CH CABLE ASM
ポジションボード１ １ ＣＨ ケーブル組
1
4 400-91988 POS BOARD 1 2CH CABLE ASM
ポジションボード１ ２ ＣＨ ケーブル組
1
5 400-91989 POS BOARD 2 1CH CABLE ASM
ポジションボード２ １ ＣＨ ケーブル組
1
6 400-91990 POS BOARD 2 2CH CABLE ASM ポジションボード２ ２ ＣＨ ケーブル組 1
7 401-04695 SERVO AMP 2KW (X)
Ｘ 軸アンプ
1
8 401-04696 SERVO AMP 2KW (Y)
Ｙ 軸アンプ
1
9 401-19361 XY-RELAY PCB ASM
ＸＹ − ＲＥＬＡＹ 基板組
1
10 400-44541 OPTICAL FIBER CABLE 0.15M
光ファイバケーブル０．１５ Ｍ
1
11 400-91512 X LF MTR CABLE ASM
Ｘ ＬＦ モータケーブル組
1
12 401-23109 Y BEAR A CABLES (MS) ASM
Ｙ ベアケーブル（ＭＳ）Ａ 組
1
13
#01
400-89838 Y BEAR A CABLES ASM XL
Ｙ ベアケーブル Ａ 組 ＸＬ
1
14 400-48267 X-LF THERMISTOR CABLE ASM
Ｘ − ＬＦ サーミスタケーブル組
1
15 401-04705 X THERMISTOR RELAY CABLE ASM
Ｘ サーミスタ中継ケーブル組
1
16
#01
400-47705 X LF LINEAR SENSOR CABLE ASM
Ｘ ＬＦ リニアセンサケーブル組
1
17 401-23049 X LF LNR(MS) SENSOR CABLE ASM
Ｘ ＬＦ リニア（ＭＳ）センサケーブル組
1
18
#01
401-33246 XY BEAR CABLES D(RA) ASM XL
ＸＹ ベアケーブル Ｄ（ＲＡ）組 ＸＬ
1
19 #01 400-44531 MAGNETIC SCALE X SENSOR UNIT マグネチックスケール Ｘ センサユニット 1
20 401-04697 X LINEAR MOTOR MOVER
Ｘ 軸 リニアモータ可動子
1
21 400-48070 OPTICAL FIBER CABLE 7M
光ファイバケーブル７ Ｍ
1
22 400-44535 4AXIS SERVO AMP
４軸一体型サーボアンプ
1
23
#01
400-91524 YR RR MTR CABLE ASM
ＹＲ ＲＲ モータケーブル組
1
24 400-47718 X LR MTR CABLE ASM
Ｘ ＬＲ モータケーブル組
1
25
#01
400-91513 X LR MTR CABLE ASM
Ｘ ＬＲ モータケーブル組
1
26 401-23110 Y BEAR B CABLES (MS) ASM
Ｙ ベアケーブル（ＭＳ）Ｂ 組
1
27
#01
400-89839 Y BEAR B CABLES ASM XL
Ｙ ベアケーブル Ｂ クミ ＸＬ
1
28 400-48268 X-LR THERMISTOR CABLE ASM
Ｘ − ＬＲ サーミスタケーブル組
1
29 401-22819 LINEAR SCALE SENSOR HEAD
リニアスケールセンサヘッド
1
30 400-91516 YL LF MTR CABLE ASM ＹＬ ＬＦ モータケーブル組
1
31 400-47813 Y LINER BEAR A CABLES ASM
Ｙ リニアベア Ａ ケーブル組
1
32
#01
400-89840 Y LINER BEAR A CABLES ASM XL
Ｙ リニアベアケーブル Ａ 組 ＸＬ
1
33 400-91885 Y-LF THERMISTOR CABLE ASM
Ｙ − ＬＦ サーミスタケーブル組
1
34 401-04700 Y LINEAR MOTOR MOVER
Ｙ 軸 リニアモータ可動子
1
35 400-91480 YL LF LINEAR SENSOR CABLE ASM
ＹＬ ＬＦ リニアセンサケーブル組
1
36 400-48269 X-RF THERMISTOR CABLE ASM
Ｘ − ＲＦ サーミスタケーブル組
1
37 400-47707 X RF LINEAR SENSOR CABLE ASM
Ｘ ＲＦ リニアセンサケーブル組
1
38 400-44532 MAGNETIC SCALE Y SENSOR UNIT
マグネチックスケール Ｙ センサユニット
1
39 400-91521 YR LF MTR CABLE ASM
ＹＲ ＬＦ モータケーブル組
1
40 400-47706 X LR LINEAR SENSOR CABLE ASM
Ｘ ＬＲ リニアセンサケーブル組
1
41 400-91507 YR LF LINEAR SENSOR CABLE ASM
ＹＲ ＬＦ リニアセンサケーブル組
1
42 400-48242 X PLUS LIMIT RELAY CABLE ASM
Ｘ プラスリミット中継ケーブル組
1
43 400-47722 YL LR MTR CABLE ASM ＹＬ ＬＲ モータケーブル組 1
44
#01
400-91517 YL LR MTR CABLE ASM
ＹＬ ＬＲ モータケーブル組
1
45 400-47814 Y LINER BEAR B CABLES ASM
Ｙ リニアベア Ｂ ケーブル組
1
46
#01
400-89841 Y LINER BEAR B CABLES ASM XL
Ｙ リニアベアケーブル Ｂ 組 ＸＬ
1
47 400-91886 Y-LR THERMISTOR CABLE ASM
Ｙ − ＬＲ サーミスタケーブル組
1
48 400-47881 X POS LIMIT RELAY CABLE ASM
Ｘ プラスリミット中継ケーブル組
1
49 400-91504 YL LR LINEAR SENSOR CABLE ASM
ＹＬ ＬＲ リニアセンサケーブル組
1
50 401-23108 XY BEAR CABLES D (MS) ASM
ＸＹ ベアケーブル Ｄ（ＭＳ）組
1
51 400-47728 YR RR MTR CABLE ASM
ＹＲ ＲＲ モータケーブル組
1
52 400-91522 YR LR MTR CABLE ASM
ＹＲ ＬＲ モータケーブル組
1
53 400-65200 RF(YR) THERMISTOR RELAY CABLE ASM
ＲＦ（ＹＲ） サーミスタ中継ケーブル組
1
54 400-91508 YR LR LINEAR SENSOR CABLE ASM
ＹＲ ＬＲ リニアセンサケーブル組
1
55 400-47719 X RF MTR CABLE ASM
Ｘ ＲＦ モータケーブル組
1
56 #01 400-91514 X RF MTR CABLE ASM Ｘ ＲＦ モータケーブル組 1
57 400-91518 YL RF MTR CABLE ASM
ＹＬ ＲＦ モータケーブル組
1
58 400-91889 Y-RF THERMISTOR CABLE ASM
Ｙ − ＲＦ サーミスタケーブル組
1
59 400-91505 YL RF LINEAR SENSOR CABLE ASM
ＹＬ ＲＦ リニアセンサケーブル組
1
60 400-48071 OPTICAL FIBER CABLE 8M
光ファイバケーブル８ Ｍ
1
61
400-91515 X RR MTR CABLE ASM
Ｘ ＲＲ モータケーブル組
1
62 400-48270 X-RR THERMISTOR CABLE ASM
Ｘ − ＲＲ サーミスタケーブル組
1
63 400-47708 X RR LINEAR SENSOR CABLE ASM
Ｘ ＲＲ リニアセンサケーブル組
1
64 400-91523 YR RF MTR CABLE ASM
ＹＲ ＲＦ モータケーブル組
1
65 400-91510 YR RF LINEAR SENSOR CABLE ASM
ＹＲ ＲＦ リニアセンサケーブル組
1
66 400-91520 YL RR MTR CABLE ASM
ＹＬ ＲＲ モータケーブル組
1
67 400-91900 Y-RR THERMISTOR CABLE ASM
Ｙ − ＲＲ サーミスタケーブル組
1
68 400-91506 YL RR LINEAR SENSOR CABLE ASM
ＹＬ ＲＲ リニアセンサケーブル組
1
69 400-91511 YR RR LINEAR SENSOR CABLE ASM ＹＲ ＲＲ リニアセンサケーブル組 1