RS-1_MS.pdf - 第154页
MS 参数 10 -3 10 -2 简易控 制 - MSP （ OCC ） 对以 OCC 基准移动 的移动按钮、照明 图、 H i s t o g r am （直方图）可进行控 制。 10 -2-1 OCC 选择 选择作为基准的 OCC 。将只显示“左 ” 10 -2-2 XY 轴移动（ OCC 基准） 点击各位置的自动复 位按钮后， OCC 的中心即 移动到 该位置。 10 -2-3 照明 图 请输入方向、管道号 后点击“执行”按 钮…
MS 参数
10-2
10-1-1 原点返回
可进行全轴原点返回、XY轴、Z轴（指定设备的所有Head）、θ轴（指定设备的所有Head）、
ZA轴、支撑台、AWC、无输送原点返回。
10-1-2 主电路电源
可进行主电路电源的ON、OFF控制。
10-1-3 校准台真空
可进行校准台真空的ON、OFF控制。
10-1-4 吸嘴上升气缸
在伺服OFF的状态下按下<ON><OFF><ON/OFF>，即执行控制。
在伺服ON的状态下不能执行吸嘴上升气缸控制。
10-1-5 VCS 气缸
控制VCS气缸，可以进行装置的LEFT、RIGHT控制。
10-1-6 VCS 照明高度
控制VCS照明高度，可以进行装置的UP、DOWN控制。
MS 参数
10-3
10-2 简易控制-MSP（OCC）
对以OCC基准移动的移动按钮、照明图、Histogram（直方图）可进行控制。
10-2-1 OCC 选择
选择作为基准的OCC。将只显示“左”
10-2-2 XY 轴移动（OCC 基准）
点击各位置的自动复位按钮后，OCC的中心即移动到该位置。
10-2-3 照明图
请输入方向、管道号后点击“执行”按钮。
取得所指定位置的照明图。
修订履历
改版 日期 修订页 修订内容 备注
1.0 2017.03 初版
2.0 2017.04 全面修订
Step2 修订
3.0 2017.07 追加选项功能
Step3 修订
4.0 2017.10 5 章
加成 修订
5.0 2018.03 7 章
AWC 修订
6.0 2018.10 全面修订
增加 XL 基板规格 修订
7.0 2019.01 全面修订
增加 RS-1R 修订