RS-1_MS.pdf - 第98页

MS 参数 7-8 7-4 校准台偏移 量 “校准台”是作为各 H ead 单元(台架)之高度基 准的 装置。 校准台偏移量就是取 得这一装置的装配 位置以及装配 误差。 请将校准台擦拭干净 之后再进行这一调 整。 7-4- 1 功能 计测校准台之第 1 标记及第 2 标 记的位置,算出 2 个标 记的中心位 置。 7-4- 2 使用模具 本项目中不使用模具 。 7-4- 3 操作 从菜单中选择“单元 参数”-“校准台 偏移量”后, 会…

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MS 参数
7-7
<操作1/3
选择要调整的设备后,按下“操作”框内的“确认”按钮。
“确认”按钮被按下后,OCC 向真空校准位置移动
<操作2/3
利用示教设定真空校准的位置,按下“确认”按钮后,真空校准的位置被更新。
<操作3/3
调整结束后,将显示上述操作内容。选择“确认”,即返还初始画面。
MS 参数
7-8
7-4 校准台偏移
“校准台”是作为各Head单元(台架)之高度基准的装置。
校准台偏移量就是取得这一装置的装配位置以及装配误差。
请将校准台擦拭干净之后再进行这一调整。
7-4-1 功能
计测校准台之第1标记及第2记的位置,算出2个标记的中心位置。
7-4-2 使用模具
本项目中不使用模具
7-4-3 操作
从菜单中选择“单元参数”-“校准台偏移量”后,会显示以下对话框。
MS 参数
7-9
<操作1/4
请确认校准台上没有模具,按下确认按钮。
<操作2/4
进行第 1 标记识别,如果未发生识别错误,则移动到第 2 标记的位置。
OCC 别校准台的第 1 标记,显示取得的坐标
再向校准台的第 2 标记位置移动,进行识别
<操作3/4
仅在第 1 标记、第 2 标记均发生识别错误时才会要求示教。
通过示教调整位置,按下确认按钮,则在所示教的位置上识别第 2 记,取得坐标。
<操作4/4
设置结束,按下“确认”,返回初始画面
7-4-4 MSP 容许值
No.
项目
MSP
容许值
MSP
值不良时
出现的问题
检测(更换)项目
1
装配精度
X
±1.000mm 把裸芯片自动放置在校准块上
取得的贴片头偏移量MSP
值将受到不良影响。
校准台之第12标记附近的表
面状态(伤痕、污染等)。
Y
±1.000mm
2
装配角度
A
±0.1° 校准台的装配精度