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MS 参数 5- 15 ＜操作 ・ 2/5 ＞ “到达真空状况”的 测定结束后，按下 “确认”按钮 ，测定“自然破坏状 况” 。 测量完成后，与到达 真空状况一样，会 显示图表。 ＜操作 ・ 3/5 ＞ “自然破坏状况”的 测定结束后，按下 “确认”按钮 ，测定“加压破坏状 况” 。 测量完成后，与到达 真空状况一样，会 显示图表。 ＜操作 ・ 5/5 ＞ 测定结束后，请按下 “确认”按钮回到 初始画面。
MS 参数
5-14
＜操作・1/5＞
如 Head 上安装有吸嘴，请用简易控制卸下吸嘴。
按下“操作”框内的确认按钮后，即测定“到达真空状况”。
计测结束后，会显示以下图表。
MS 参数
5-15
＜操作・2/5＞
“到达真空状况”的测定结束后，按下“确认”按钮，测定“自然破坏状况”。
测量完成后，与到达真空状况一样，会显示图表。
＜操作・3/5＞
“自然破坏状况”的测定结束后，按下“确认”按钮，测定“加压破坏状况”。
测量完成后，与到达真空状况一样，会显示图表。
＜操作・5/5＞
测定结束后，请按下“确认”按钮回到初始画面。
MS 参数
5-16
5-6 扩展 T 轴偏移量
5-6-1 功能
取得扩展T轴偏移量（θ皮带转1圈量的波动成分）。要进行参数的确认或修正时，请参照第8章 贴片
参数中的“8-3 扩展T轴偏移量”。
5-6-2 使用模具
• FCS模具基板（40128130） • 超硬芯片（40020304）
• 7506吸嘴（40183426）
※请预先给ATC分配好（孔号任意）。
5-6-3 操作
从菜单中选择“贴片头参数”－“扩展T轴偏差”后，会显示以下对话框。