RS-1_MS.pdf - 第57页
MS 参数 5-6 基板上面高度的测量 结束后，再利用激 光来测量各类 别高度中的激光高度 偏移量。 激光测量高度后，卸 下吸嘴，会显示信 息，请卸下标 准吸嘴 R S1 并选择 OK 。 当选择了奇数 Head 时，会显示安装吸嘴 的信息， 请 把模具吸嘴 LNC 安装到降下 的 H ead （奇数 Head ）上，再选择 OK 。取得 各类别高 度上的 吸嘴旋转中 心。 测量奇数 Head 后，卸下吸嘴， 会显示 信息，请卸下 模具…
MS 参数
5-5
＜操作・1/9＞
如果要测量的 Head 装有吸嘴，卸下吸嘴，点击“基准位置测量”按钮。如选择“确定”，
即进行吸嘴套高度的检测。
请确认校准块上没有治具等，把垫片①和垫片②重叠设置在中央部。
重叠设置垫片时，请使垫片①在上侧，垫片②在下侧。
请根据指示，在被设定的 Head 上安装模具吸嘴 RS-1。
确认吸嘴安装状态后，按“确定”，被设定的 Head 即执行吸嘴的高度检测，移动到校准台
上。
＜操作・2/9＞
在校准块上测量的 Head 将进行原点复归（MSP），以转矩控制进行基板上面高度的获取。
※计测内容
1. 降下 Z 轴，通过转矩控制来识别模具吸嘴与校准块相接的位置。
2. 根据第 1.步识别到的位置和模具吸嘴长度，算出基板上面高度并更新。
MS 参数
5-6
基板上面高度的测量结束后，再利用激光来测量各类别高度中的激光高度偏移量。
激光测量高度后，卸下吸嘴，会显示信息，请卸下标准吸嘴 RS1 并选择 OK。
当选择了奇数 Head 时，会显示安装吸嘴的信息，请把模具吸嘴 LNC 安装到降下的 Head
（奇数 Head）上，再选择 OK。取得各类别高度上的吸嘴旋转中心。
测量奇数 Head 后，卸下吸嘴，会显示信息，请卸下模具吸嘴 LNC。当选择了偶数 Head
时，会显示安装吸嘴的信息，请把模具吸嘴 LNC 安装到降下的 Head（偶数 Head）上。
取得各类别高度上的吸嘴旋转中心。
测量已完成，请从被设定 Head 上卸下模具吸嘴，点击“确定”。
＜操作・9/9＞
指定 Head 的全部设置结束后，按下“确定”按钮，返回初始画面。
操作结束后请取下校准块上的垫片。
5-2-4 MSP 容许值
No.
项目
MSP
容许位置
MSP
值不良时
出现的问题
调整（检测）项目
1
基板上面高度 0±2mm
贴片精度不良
Z
轴电动机的装配
2
激光高度 0±1mm
贴片精度不良
吸取不良
Z
轴电动机的装配
激光传感器
3
吸嘴旋转中心X 0±1mm
贴片精度不良
激光识别不良
Head
吸嘴轴的装配精
度
激光传感器
4
吸嘴旋转中心Y 0±0.5mm
贴片精度不良
激光识别不良
Head
吸嘴轴的装配精
度
激光传感器
MS 参数
5-7
5-3 Head 偏移量
5-3-1 功能
测量各Head的装配角度以及通过OCC算出的装配位置。
对话框结束时，在实行设备切换时检查有无吸嘴，如果还装着吸嘴，将显示信息要求拆下吸嘴。
5-3-2 使用模具
• 3.7 DUMMY WAFER（40035043） • 7506吸嘴（40183426）
(裸芯片)
5-3-3 操作
从菜单中选择“贴片头参数”－“Head偏移量”后，会显示以Head偏移量对话框。
请从“选择Head吸嘴”项目中，确定要调整的Head吸嘴。