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MS 参数 6- 15 6-6 VCS 摄像机 偏差 6-6- 1 功能 取得 VCS 摄像机的坐标值 以及装配 角度（对 Y 轴的倾 斜）、基准 温度。 6-6- 2 使用模具 • 3 . 7 D U M M Y W A F ER （ 4003504 3 ） • 7 506 吸嘴（ 40183 426 ） ( 裸芯片 ) 6-6- 3 操作 从菜单中选择“ VCS 参数 ”－“调 整 VCS 摄像机偏差 ”后，显示 出下面的 VC S…
MS 参数
6-14
・ 27mm 视野、10mm 视野 VCS 时
请通过示教按钮调整 DFFP VCS 调节治具的姿势。
请用 XY 轴和
θ
轴调整，要使中心的列和行与示教画面的十字光标重合。
示教完成后请按下确认按钮。
开始测量。
测量一结束，Head 就移到吸嘴安装位置。请按照画面的指示卸下吸嘴和校准片 G。
＜操作・6/6＞
设定完毕。选择了确认之后，返回到初期设置画面。
6-5-4 MSP 容许值
No.
项目
MSP
容许值
MSP值不良时
出现的问题
检测（更换）项目
1
VCS摄像
机
缩放
54mm 视野
VCS
X
0.05±0.01 图像识别、
贴片精度不良
输入模具的伤痕、
脏污等。
VCS镜头的伤痕、
脏污等
Y
0.05±0.01
2
27mm 视野
VCS
X
0.026±0.002
Y
0.026±0.002
3
10mm 视野
VCS
X
0.0052±0.0002
Y
0.0052±0.0002
MS 参数
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6-6 VCS 摄像机偏差
6-6-1 功能
取得VCS摄像机的坐标值以及装配角度（对Y轴的倾斜）、基准温度。
6-6-2 使用模具
• 3.7 DUMMY WAFER（40035043） • 7506吸嘴（40183426）
(裸芯片)
6-6-3 操作
从菜单中选择“VCS参数”－“调整VCS摄像机偏差”后，显示出下面的VCS摄像机偏差设定画面。
所有选择的Head将连续进行测量。请对要测量的Head全部进行勾选。
MS 参数
6-16
＜操作・1/7＞
请将裸芯片装在裸芯片平台上。完成准备后，请选择确认。
选择确认后，会出现指示，要求将 7506 号吸嘴安装在。
是：当 7506 吸嘴已分配给 ATC 时，进行吸嘴更换。
否：Head 移动到吸嘴安装位置。请用手动全部 Head 上安装吸嘴。
点击“确定”，吸取裸芯片后，移动到校准台上。
＜操作・3/7＞
自动地从裸芯片平台吸取裸芯片，移动到校准台上。
然后，吸取裸芯片的中心，移动到 VCS 识别位置。
＜操作・4/7＞
该信息一般不显示。仅在 VCS 上识别标记失败的情况下要求进行示教。