XPF-L机械手册.pdf - 第89页

MEC-XPF-5.2S 5. 维修保养 XPF 机械手册 77 5.1.7 玻璃元件、彩色样品、校正尺芯片元件的清扫 (每周 /160 小时) 要点 在吸嘴旋转中心测定中使用的治 具类搭载在指定的位置上。 由于进行定期的清扫, 可保证稳 定的测定和补正。 。 方法 使用柔软的毛刷 ( 照相机镜头清扫用 ) 等,对两面进行清扫。 5.1.8 真空支撑销存储器 ( 选项 ) 的清扫 ( 每周 /160 小时 ) 要点 为了不使垃圾和尘埃等…

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5. 维修保养 MEC-XPF-5.2S
76 XPF 机械手册
5.1.6 回收极小元件过滤器的清扫 ( /160 小时 )
要点
出现影像处理错误的 1005 以下的极小元件,吸引到 Side 1 的基准轨道侧的回收箱孔中后
收存到过滤器内。从外边看积存到过滤器一半以上时,因为真空压力降低,请紧急地除去过
滤器中的剩余元件。
备注 )环部和耦合器的中间点显示为 「红色」时的状态是锁定状态。拆除过滤器时请将耦合
器的环部向右旋转解除锁定。操作结束后,请返回到锁定状态。
方法
1. 请取下基准侧轨道旁边的废弃中型元件的托盘。
2. 向左面按过滤器左边的耦合器时过滤器脱落。请向右拔出过滤器。
3. 将过滤器的盖帽与碰上 " 逆时针旋转 " 的位置 (约 45°)对齐,拔出盖帽。
4. 请废弃放入其中的芯片。过滤器的污垢严重时,请更换过滤器内的部件 (A40905 (带有
O 型圈)(也请确认 O 型圈损伤)
5. 清扫后,安装部件到盖帽上。
6. 盖帽突出部 (2 处)与过滤器槽部对齐,将盖帽碰到 " 顺时针旋转 " 的位置 (约 45°)
为止进行旋转。(请确认在过滤器窗口部完全可以看到盖帽的突出部。
7. 请确实插入过滤器到耦合器中直到确认发 " 嘎搭 " 声音为止。
8. 请返还废弃中型元件的料盘。
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警告
操作前请务必按下 [ 紧急停止 ] 按钮。
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MEC-XPF-5.2S 5. 维修保养
XPF 机械手册 77
5.1.7 玻璃元件、彩色样品、校正尺芯片元件的清扫 (每周 /160 小时)
要点
在吸嘴旋转中心测定中使用的治具类搭载在指定的位置上。由于进行定期的清扫,可保证稳
定的测定和补正。
方法
使用柔软的毛刷 ( 照相机镜头清扫用 ) 等,对两面进行清扫。
5.1.8 真空支撑销存储器 ( 选项 ) 的清扫 ( 每周 /160 小时 )
要点
为了不使垃圾和尘埃等给生产带来不良影响,请定期地进行支撑销及真空支撑销存储器的
清扫。
方 法
1. 请从真空支撑销存储器上取下支撑销,请除去支撑销尖端及底部磁铁部粘附的尘埃等。
备注 )磁铁部有垃圾的话,支撑销会倾斜。请务必擦去。
2. 请使用小型除尘器谨慎认真地除去真空支撑销存储器的孔里积存的垃圾和尘埃。
备注 )因为尘埃在机内中有可能漂浮散落,请不要使用气枪。
3. 清扫结束后,请返还支撑销到真空支撑销存储器。
警告
操作前请务必切断主电源。
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5. 维修保养 MEC-XPF-5.2S
78 XPF 机械手册
5.1.9 频闪灯半透镜和棱镜面的清扫 ( 每周 /160 小时 )
要点
频闪灯单元被油迹、灰尘沾污后,会成为光量不足、读取的影像歪斜等原因,容易引起影像
处理错误。
请用清洁套件擦拭掉半透镜或者镜面的微量污垢。
方法
1. 准备清洁套件。
注意 )
1.因为有可能触电,请绝对不要触摸光源接线头部分或者电源装置部分。在进行频闪灯
的清扫或者维修保养时,请必须在切断电源经过 5 分钟后再进行。
2.请不要直视影像处理光源。
3.请绝对不要拆除光源单元旁边的锁定螺栓。
2. 请拆除压条上部的固定螺栓 (4 根),拆除上部的玻璃盖板。
请擦拭拆除的玻璃盖板上的污垢
警告
操作前请务必切断主电源。
注意
玻璃盖板容易碎,使用时请充分注意。
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